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中图仪器SJ5730表面轮廓仪探针式是一款集成表面粗糙度和轮廓测量的高精度测量仪器,该仪器具有12mm-24mm的粗糙度轮廓一体式测量范围,分辨率达到0.1nm,因此非常适合测量大曲面高精密零部件的轮廓参数测量,同时具备球面、弧面、非球面轮廓参数评价功能,能够满足各种高精密轮廓粗糙度加工行业的测量需求。

技术参数
型号 | SJ5730-100 | ||
轮廓参数 |
测量范围 | X轴 | 0~100mm |
立柱轴 | 0~300mm | ||
Z轴 | ±6mm(标准测杆)(±12mm:两倍标准测杆) | ||
分辨率 | X轴:10nm,Z轴:1nm、0.1nm | ||
测量精度 | 角度精度 | ≤0.5’ *备注:精度验证以测量多面棱体角度为准 | |
Z轴轮廓精度 | ≤±(0.5+0.03Z)μm(H,mm) | ||
标准圆弧Pt精度 | Pt≤0.4μm *备注:25mm以下标准球Pt测试 | ||
标准球测量误差 | ≤±1μm(R≤10mm),≤±(0.17+R/12)μm(10 *备注:精度验证以测量标准球弧度超过90度为准 | ||
移动速度 | X轴 | 0~20mm/s | |
立柱轴 | 0~20mm/s | ||
扫描速度(扫描轴) | 0.05~5mm/s | ||
直线度(扫描轴) | ≤(0.05+1.5L/1000)μm *备注:≤0.2μm/100mm | ||
测量力 | 0.5mN、0.75mN、1mN、2mN、3mN(电子档位可调) | ||
粗糙度参数 | 适用Ra测量范围 | Ra0.012μm~Ra12.5μm(可选更大范围) | |
示值误差 | Ra: ≤±(3nm+2.0%A)(A:测量Ra标称值) | ||
重复性(1δ) | 1δ≤1nm *备注:0.1-0.2μm方波粗糙度样块、标准台阶块测试 | ||
残值噪声 | Rq≤2nm *备注:1纳米级粗糙度样块、平晶测试 | ||
粗糙度测量参数 | R粗糙度: Rp,Rv,Rz,Rc,Rt,Ra,Rq,Rsk,Rku,RSm,Rdq,Rdc,Rmr,Rmax,Rpm,tp,Htp,Pc,Rda,Ry,Sm,S,RzJ; Ra,Rq,Rz,Rmax,RPc,Rz-JIS,Rt,Rp,Rv,RSm,Sm,S,Rsk,Rku,Rdq,Rdc,Rmr; 核心粗糙度Rcore: Rk,Rpk,Rvk,Rpkx,Rvkx,Mr1,Mr2,A1,A2,Vo; P轮廓参数: Pa,Pq,Pt,Pz,Pp,Pv,PSm,Psk,Pku,Pdq,Pdc,Pc,PPc,Pmr,Rad,PzJ,Pmax; W波纹度轮廓参数: Wa,Wq,Wt,Wz,Wp,Wv,WSm,Wsk,Wku,Wdq,Wdc,Wmr,Wpc,Wc; Motif参数:R,AR,W,AW,Rx,Wx,Wte; 符合标准: GB/T3505-2009,ISO4287:1997,ISO 13565-2:1996,ASME B46.1-2002, DIN/EN/ISO 4287:2010,JIS B 0601:2013,JIS B 0601-1994JIS B 0601-1982, ISO 1302:2002; | ||
滤波器 | 高斯滤波器、2RC滤波器,相位修正滤波器 | ||
滤波长度 | 0.08、0.25、0.8、2.5、8.0、25mm可选 | ||
滤波长度 | λc×3、4、5、6、7、8可选 | ||
仪器尺寸(长×宽×高) | 600×350×850(mm) | ||
仪器总重量 | 约95Kg |
产品功能
1.SJ5730表面轮廓仪探针式一次测量可同时评定粗糙度及轮廓参数,分析评定R参数、P参数、W参数等微观粗糙度参数及倒角、R角、直线度、位置尺寸、角度的宏观轮廓参数;
2.表面粗糙度评定: R参数、P参数、W参数、核心粗糙度Rcore、Motif等微观粗糙度参数评定;
3.圆球类零件轮廓及粗糙度参数测量评定;
4.表面轮廓评定:评定任何点/线间距、两线夹角、圆弧半径、直径等几何量尺寸参量,并可对轮廓进行直线度、圆度、轮廓度、平行度、位置度、垂直度等分析,重新分析和测量的操作简洁高效;
5.尺寸标注:半径、两圆中心距离、X/Z尺寸、斜边、两线夹角、直线相交、直线与圆弧相交、圆弧与圆弧相交、尺寸标注线大小修改、线偏移、局部轮廓放大和调平等;
6.测量记录采用集中式数据库管理,可按被测件类型、生产单位、出厂编号、检测员、送检单位、设备编号、检定日期和有效日期等查询和管理测量记录;
7.输出多种格式报表(.doc,.docx,.xlsx,.pdf),并支持自定义报表,定制测量记录报表,可批量打印记录表,具有数据备份和还原数据库功能;
8.具备自动找拐点功能,能按照程序设置进行X轴自动找拐点;
9.成熟简单的标定,仪器自带高精度组合标定台,可对仪器的精度和测针磨损进行精确补偿;
10.可进行DXF(CAD)格式图纸导入,进行理论图纸与测量结果比对分析,可提供直观图形对比;
11.可导出坐标点数据(.TXT)等格式,可读取到Excel或者CAD软件内进行数据分析及标准轮廓比对;
12.可对多次测量的轮廓曲线匹配后进行分析测量重复性。

性能特点
1、一次测量同时评定轮廓和粗糙度参数
超高精度衍射光学测量系统,具有12mm~24mm的大量程粗糙度测量范围,分辨率高达0.1nm,系统残差小于2nm。
2、高精度、高稳定性、高重复性:满足被测件测量精度要求
1)系统扫描轴采用特殊的超高耐磨材质复合材质摩擦片,耐磨性能优良,稳定性高,能保障系统长时间的稳定的直线度精度;
2)高精度转轴采用特殊的高刚性、低惯量、超低摩擦系数的红宝石转轴系统,确保了转动的超高灵敏度及测量精度;
3)超高稳定的驱动设计,确保了驱动运行过程中不产生任何的振动及干扰,保障了系统扫描运动精度;
4)高精度的纳米级光学转轴测量系统,保障了仪器超高的分辨率及全程纳米级粗糙度测量精度;
5)一体式拔插式碳纤维测杆、高刚性、低惯量,一键拔插,特殊设计的高刚性拔插结构,无需锁螺钉,方便快捷、稳定可靠;
3、智能化管理与软件分析系统
仪器操作界面友好,操作者易掌握仪器基本操作,使用十分简便。
1)10多年积累的实用检测软件设计经验,向客户提供简洁、实用、快速的操作体验;
2)智能化分析及记录,同批次可自动测量和分析,大幅度减少人员的操作要求及降低人员的劳动强度;
3)测量范围广,可满足绝大多数类型的工件粗糙度轮廓测量要求;
4)非球面专用软件分析功能模块,一键式快速测量非球面光学镜片;
5)可自动和手动选取被测段进行评定,可依据客户要求进行软件功能的定制;
6)纯中文操作软件系统,更好的为国内用户服务;
7)可打印各种格式的检定报告,自动显示、打印、保存、查询测量记录,打印格式正规、美观;检定数据可存档,或集中打印,不占用检定操作时间;
8)本仪器采用计算机大容量数据库储存,可自动记录保存所有检定结果。
4、智能保护系统
仪器在各个方向都有进行硬件及软件保护,能有效的保护仪器主机及测针,降低人员因操作失误带来的测针及仪器损伤;
模块测针拔插式结构,方便更换,遇到卡针可轻松拆换测针;测量传感器带舵机结构,可防止扫描陡坡时的快速下坠。
5、灵活手动控制:
仪器配置了特殊分离式操作杆,操作杆在仪器操作移动时,可放置在任何位置控制操作,在测量工件前对测针进行粗定位;在脱离电脑的情况下,操作杆具备左右/上下移动测针、急停、测杆上下角度摆动及速度分多级调节功能。
6、成熟的标定校准技术
SJ5730表面轮廓仪探针式配置特殊的高精度标定台,通过简单的标定操作,能对仪器的参数进行误差补偿,对测针针尖磨损进行修正补偿,使其满足高精度轮廓测量。


环境条件
温度:20±5℃;
相对湿度:10%~80%;
电源/功率:220V,50Hz,≤1.5KW(含电脑及显示器);
振动:按照三坐标振动要求标准,振动速度均方根≤5um/s,振动频率8~100Hz;
校准室内应无影响测量的灰尘、震动、噪音、气流、腐蚀性气体和较强磁场;
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