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中科院半导体所

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电子束曝光与显影工艺解读

EBL就像是纳米世界里的精密画笔,能够在极其微小的尺度上"画"出任何你想要的二维图案。
的头像 中科院半导体所 发表于 07-09 09:33 ?1039次阅读
电子束曝光与显影工艺解读

芯片封装失效的典型现象

本文介绍了芯片封装失效的典型现象:金线偏移、芯片开裂、界面开裂、基板裂纹和再流焊缺陷。
的头像 中科院半导体所 发表于 07-09 09:31 ?537次阅读

晶体管架构的演变过程

芯片制程从微米级进入2纳米时代,晶体管架构经历了从 Planar FET 到 MBCFET的四次关键....
的头像 中科院半导体所 发表于 07-08 16:28 ?925次阅读
晶体管架构的演变过程

基于TSV的三维集成电路制造技术

三维集成电路工艺技术因特征尺寸缩小与系统复杂度提升而发展,其核心目标在于通过垂直堆叠芯片突破二维物理....
的头像 中科院半导体所 发表于 07-08 09:53 ?897次阅读
基于TSV的三维集成电路制造技术

多晶硅在芯片制造中的作用

在芯片的纳米世界中,多晶硅(Polycrystalline Silicon,简称Poly-Si) 。....
的头像 中科院半导体所 发表于 07-08 09:48 ?921次阅读
多晶硅在芯片制造中的作用

干法刻蚀的评价参数详解

在MEMS制造工艺中,干法刻蚀是通过等离子体、离子束等气态物质对薄膜材料或衬底进行刻蚀的工艺,其评价....
的头像 中科院半导体所 发表于 07-07 11:21 ?550次阅读
干法刻蚀的评价参数详解

半导体的常见表征手段

在半导体工艺研发与制造过程中,精确的表征技术是保障器件性能与良率的核心环节。
的头像 中科院半导体所 发表于 07-07 11:19 ?457次阅读
半导体的常见表征手段

浅谈无线通信的基本概念

从工作频段到信道的划分,再到多址方式、双工方式、调制方式、分集技术和MIMO,这些概念共同作用,使得....
的头像 中科院半导体所 发表于 07-04 11:34 ?468次阅读

半导体掺杂浓度及图形测量方法

热波系统通过激光诱导热效应与晶格缺陷的关联性实现掺杂浓度评估。其核心机制为:氩泵浦激光经双面镜聚焦于....
的头像 中科院半导体所 发表于 07-04 11:32 ?1340次阅读
半导体掺杂浓度及图形测量方法

芯片制造中的晕环注入技术

当晶体管栅长缩至20纳米以下,源漏极间可能形成隐秘的电流通道,导致晶体管无法关闭。而晕环注入(Hal....
的头像 中科院半导体所 发表于 07-03 16:13 ?704次阅读
芯片制造中的晕环注入技术

深度解析芯片化学机械抛光技术

化学机械抛光(Chemical Mechanical Polishing, 简称 CMP)技术是一种....
的头像 中科院半导体所 发表于 07-03 15:12 ?1054次阅读
深度解析芯片化学机械抛光技术

半导体硅片生产过程中的常用掺杂技术

在半导体硅片生产过程中,精确调控材料的电阻率是实现器件功能的关键,而原位掺杂、扩散和离子注入正是达成....
的头像 中科院半导体所 发表于 07-02 10:17 ?342次阅读
半导体硅片生产过程中的常用掺杂技术

芯片制造中的薄膜测量方法

在指甲盖大小的芯片上集成数百亿晶体管,需要经历数百道严苛工艺的淬炼。每一道工序的参数波动,都可能引发....
的头像 中科院半导体所 发表于 07-02 10:14 ?1045次阅读
芯片制造中的薄膜测量方法

远程等离子体刻蚀技术介绍

远程等离子体刻蚀技术通过非接触式能量传递实现材料加工,其中热辅助离子束刻蚀(TAIBE)作为前沿技术....
的头像 中科院半导体所 发表于 06-30 14:34 ?410次阅读
远程等离子体刻蚀技术介绍

常见气体传感器的类型和工作原理

在万物互联的社会,气体感知技术已成为各领域发展的 “隐形卫士”。消费场景中,守护家居空气质量;汽车领....
的头像 中科院半导体所 发表于 06-27 09:16 ?959次阅读
常见气体传感器的类型和工作原理

电子衍射技术的原理与分类

随着半导体器件尺寸的不断缩小和性能要求的日益提高,应变工程半导体异质结构在现代电子器件中发挥着关键作....
的头像 中科院半导体所 发表于 06-27 09:12 ?593次阅读
电子衍射技术的原理与分类

浅谈半导体薄膜制备方法

本文简单介绍一下半导体镀膜的相关知识,基础的薄膜制备方法包含热蒸发和溅射法两类。
的头像 中科院半导体所 发表于 06-26 14:03 ?471次阅读
浅谈半导体薄膜制备方法

简单认识表面微机械加工技术

相比传统体加工技术,表面微机械加工通过“牺牲层腐蚀”工艺,可构建更复杂的三维微结构,显著扩展设计空间....
的头像 中科院半导体所 发表于 06-26 14:01 ?220次阅读
简单认识表面微机械加工技术

体硅FinFET和SOI FinFET的差异

在半导体制造领域,晶体管结构的选择如同建筑中的地基设计,直接决定了芯片的性能上限与能效边界。当制程节....
的头像 中科院半导体所 发表于 06-25 16:49 ?824次阅读
体硅FinFET和SOI FinFET的差异

基带电路的作用和组成部分

“基带”这个词,最早来源于通信理论,意思是未经调制的原始信号。比如你打电话时说话的声音、视频通话中的....
的头像 中科院半导体所 发表于 06-25 15:37 ?545次阅读

无线通信系统中射频电路的重要作用

射频电路是处理高频信号的电路,在无线通信系统中发挥着至关重要的作用。它们负责接收、发射和处理射频信号....
的头像 中科院半导体所 发表于 06-20 16:13 ?461次阅读
无线通信系统中射频电路的重要作用

扫描电镜在微纳加工中的应用

本文是A. N. BROERS关于扫描电镜在微纳加工中应用的研究回顾,重点记录了他从1960年代开始....
的头像 中科院半导体所 发表于 06-20 16:11 ?266次阅读
扫描电镜在微纳加工中的应用

硅熔融键合工艺概述

硅片键合作为微机械加工领域的核心技术,其工艺分类与应用场景的精准解析对行业实践具有重要指导意义。
的头像 中科院半导体所 发表于 06-20 16:09 ?322次阅读
硅熔融键合工艺概述

原位透射电镜在半导体中的应用

传统的透射电镜(TEM)技术往往只能提供材料在静态条件下的结构信息,无法满足科研人员对材料在实际应用....
的头像 中科院半导体所 发表于 06-19 16:28 ?302次阅读

MEMS制造领域中光刻Overlay的概念

在 MEMS(微机电系统)制造领域,光刻工艺是决定版图中的图案能否精确 “印刷” 到硅片上的核心环节....
的头像 中科院半导体所 发表于 06-18 11:30 ?466次阅读
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如何使用直角棱镜转折光束

光学直角棱镜是一种常见的光学元件,它能够将光线的传播方向精确地偏转90度。这种功能看似简单,却在许多....
的头像 中科院半导体所 发表于 06-17 16:20 ?386次阅读
如何使用直角棱镜转折光束

离子束的传输与信号探测

聚焦离子束(FIB)在材料科学和微纳加工领域内的重要性日益显现,离子束的传输过程由多个关键组件构成,....
的头像 中科院半导体所 发表于 06-17 15:47 ?281次阅读
离子束的传输与信号探测

分子束外延技术的原理及制备过程

高质量的材料制备是一切器件研究的核心与基础,本篇文章主要讲述MBE的原理及制备过程?
的头像 中科院半导体所 发表于 06-17 15:05 ?364次阅读
分子束外延技术的原理及制备过程

一文详解外延生长技术

随着半导体器件特征尺寸不断微缩,对高质量薄膜材料的需求愈发迫切。外延技术作为一种在半导体工艺制造中常....
的头像 中科院半导体所 发表于 06-16 11:44 ?1139次阅读
一文详解外延生长技术

逆向阱技术的精密构建

在芯片的硅基世界中,硼离子注入(Boron Implant) 如同纳米级的外科手术——通过精准控制高....
的头像 中科院半导体所 发表于 06-13 11:43 ?281次阅读
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