半导体制造防震基座安装 RC 铣孔操作注意事项-江苏泊苏系统集成有限公司

半导体制造防震基座安装 RC 铣孔操作注意事项-江苏泊苏系统集成有限公司

RC 铣孔作为半导体防震基座安装的关键环节，其操作质量直接影响设备运行稳定性，需严格遵循以下注意事项，确保精度、洁净度及安全性：

一、人员防护与操作规范

无尘防护要求

操作人员必须穿戴全套 Class 100 级无尘服（含帽子、口罩、手套、鞋套），确保身体无暴露部位，减少人体散发的微粒污染。每工作 1 小时需进入洁净更衣室，用无尘设备清洁无尘服表面，更换手套并对手部消毒，避免污染物带入作业区。

操作技能与责任

作业人员需经专业培训，熟悉铣孔设备参数设置及 RC 材料特性，严禁无证操作。铣孔过程中需全程监控设备运行状态，发现异常（如异响、振动）立即停机，严禁带病作业。

二、设备与工具管理

设备调试与校准

铣孔机开机前需预热 15 分钟，通过试运转确认主轴转速（500-3000rpm）、进给系统精度达标，定位偏差需≤±0.05mm。每周校准设备定位精度，每季度校验测量器具（数显卡尺、激光测距仪等），确保数据准确。

铣刀与吸尘装置维护

金刚石涂层铣刀需经无尘清洗并真空保存，使用前检查刀刃磨损量（≤0.1mm），磨损超标立即更换。真空吸尘系统吸力需≥-0.1MPa，吸尘口滤网（精度 0.3μm）每日清理，避免堵塞导致粉尘扩散。

三、环境控制与污染预防

洁净度与温湿度管控

作业区需维持 Class 1000 级洁净度，≥0.5μm 粒子浓度≤1000 个 /ft?。温湿度控制在 22±2℃、45%±5%，每 15 分钟记录一次数据，偏差超限时立即启动恒温恒湿系统调整，待稳定 30 分钟后方可继续作业。

粉尘隔离与处理

非作业区域需用防静电防尘罩布覆盖，铣孔时必须开启真空吸尘，确保碎屑实时吸除。废弃碎屑需收集至防静电专用容器，按危险废弃物处理，严禁随意丢弃。

四、铣孔过程关键控制

参数设置与进给控制

根据 RC 材料强度调整参数：普通 RC 采用 800-1200rpm 转速、0.05-0.1mm/r 进给速度；高强度 RC 需降低进给速度（0.03-0.05mm/r）并提高转速（1000-1500rpm）。接近设计孔深时切换至微量进给（0.01-0.02mm/r），避免超深。

孔位精度与垂直度

孔位标记偏差需≤±0.2mm，铣刀与地面垂直度偏差≤0.1°，通过激光投点仪实时监控。扩孔时确保孔径偏差≤±0.05mm，孔壁粗糙度 Ra≤1.6μm，避免因精度不足导致基座安装偏移。

五、清洁与质量追溯

多级清洁标准

铣孔后需经三级清洁：先用高压氮气（0.2-0.3MPa）吹扫孔内碎屑，再用异丙醇擦拭孔壁及周围 50mm 范围，最后用超纯水（25±2℃）喷淋 30 秒以上，确保无油污、粉尘残留。清洁后用无尘空气吹干≥2 分钟，避免水分残留。

全流程记录追溯

详细记录每个孔的孔径、孔深、垂直度数据，以及设备参数、清洁过程、粒子计数结果。记录需存档至少 3 年，便于后续基座安装异常时追溯原因。

六、应急处理预案

设备故障处理

若铣孔机突发故障（主轴停转、进给失灵），立即停机并转移至维修区，用无尘塞子封堵未完成孔位。设备修复后需重新校准，确认精度达标方可复工。

突发环境异常

停电时需关闭设备电源，用应急照明防护未完成孔位；洁净度超标时加强 HEPA 过滤，重新清洁作业区并检测合格后再作业。

严格执行上述注意事项，可最大限度降低 RC 铣孔的质量风险，为防震基座安装提供高精度、高洁净的基础条件，保障半导体设备在微振环境下的稳定运行。