半导体晶圆制造洁净室高架地板地脚用环氧ab胶固定可以吗？-江苏泊苏系统集成有限公司

半导体晶圆制造洁净室高架地板地脚用环氧ab胶固定可以吗？

在半导体晶圆制造洁净室高架地板的安装中，地脚是否可以用环氧 AB 胶固定，需要结合洁净室的环境要求、环氧 AB 胶的特性以及实际使用场景综合判断。以下从多个维度分析，帮助你全面理解这一问题：

一、洁净室对固定材料的核心要求

洁净室（尤其是 Class 5 及以上等级，或制药、半导体等行业）对材料的要求极为严苛，核心关注点包括：

1. 低挥发性（VOCs）：材料固化后不得释放小分子有机物、微粒，否则会污染洁净环境，影响产品质量（如芯片良率、药品纯度）。

2. 耐化学性：需耐受洁净室常规清洁消毒（如酒精、过氧化氢、酸碱溶液），避免被腐蚀导致松动或溶出污染物。

3. 稳定性：长期使用中（通常 10 年以上）不得出现开裂、老化、粉化，否则可能产生微粒污染或结构松动。

4. 结构可靠性：需承受地板及上方设备的荷载（静态荷载 + 动态振动，如设备运行、人员走动），确保长期不脱落、不变形。

二、环氧 AB 胶的特性与适配性分析

环氧 AB 胶（双组分环氧树脂胶粘剂）的性能因型号差异较大，需针对性评估：

1. 优势

· 粘结强度高：固化后剪切强度可达 10-30MPa（优质型号），能满足多数高架地板地脚的固定需求（地脚主要承受垂直压力和轻微剪切力）。

· 密封性好：固化后无孔隙，可减少灰尘从地板下方（架空层）通过地脚缝隙进入洁净区，辅助维持洁净度。

· 耐温性适中：常规型号可耐受 - 50~120℃，能适应洁净室空调系统的温度波动（通常控制在 20-24℃）。

2. 潜在风险与局限性

· 挥发物问题：普通环氧 AB 胶在固化过程中可能释放微量胺类（固化剂成分）或未反应的单体，若型号不符合 “低挥发” 标准，会成为洁净室的污染源。

· 耐化学性差异大：部分环氧胶耐酸碱、溶剂性能较弱，长期接触消毒水可能出现溶胀、开裂，导致地脚松动。

· 施工依赖性强：环氧 AB 胶的粘结效果受施工环境（温度、湿度）、涂胶量、固化时间影响极大，若混合比例不当或固化不完全，可能留下隐患（如后期脱落）。

· 维修难度高：一旦地脚需要更换或调整，环氧胶固化后坚硬且难以剥离，可能导致地板或地脚损坏，增加维护成本。

三、是否可用的判断标准

环氧 AB 胶在特定条件下可以使用，但需满足以下前提：

1，胶的型号必须符合洁净室等级

（1）选择 **“洁净室专用环氧胶”**：需明确要求供应商提供检测报告，证明其固化后 VOCs 释放量符合标准（如 ISO 14644-1 对微粒的限制，或 FDA、GMP 对有机物残留的要求）。

（2）避免使用 “工业级” 环氧胶：普通型号可能含增塑剂、稀释剂，挥发物超标，且杂质含量高（可能含微粒）。

2，粘结强度与荷载匹配

根据地脚材质（通常为铝合金、不锈钢）和地板荷载（设计荷载需≥5kN/m?），选择剪切强度≥15MPa 的型号，并通过现场测试验证（如固化后进行拉力测试）。

3，耐化学性适配

要求供应商提供耐化学性报告，确认胶层在洁净室常用消毒剂中（如 75% 酒精、0.5% 过氧化氢）浸泡 72 小时后无溶胀、失重（失重率需≤0.1%）。

4，施工规范

（1）涂胶前需清洁地脚与地面（通常为水泥基层或金属支架），去除油污、灰尘，确保表面粗糙度（如用砂纸打磨）以增强粘结力。

（2）严格按比例混合（如 1:1 或 2:1），控制固化温度（建议 20-25℃，避免低于 10℃导致固化不完全），固化时间需满足厂家要求（通常 24 小时以上）。

四、更推荐的替代方案：机械固定

尽管环氧 AB 胶在满足上述条件时可使用，但在高等级洁净室（如 Class 4 及以上，或对可靠性要求极高的场景）中，机械固定（如膨胀螺栓、螺纹连接）仍是更优选择，原因如下：

结论

· 低等级洁净室（如 Class 8 及以下，或办公室、实验室）：若选用符合低挥发标准的环氧 AB 胶，且施工规范，可用于地脚固定，成本较低且密封性好。

· 高等级洁净室（如 Class 7 及以上，或制药、半导体行业）：不建议使用环氧 AB 胶，优先选择机械固定，避免挥发物污染和长期可靠性风险。

最终决策前，需要求胶黏剂供应商提供洁净室认证报告（如 ISO 14644-1 兼容证明），并进行小范围试装测试（监测固化后 1 个月内的挥发物和粘结强度