半导体设备防震基座安装的验收流程-江苏泊苏系统集成有限公司

半导体设备防震基座安装的验收流程-江苏泊苏系统集成有限公司

半导体设备防震基座安装的验收流程是一个系统的过程，以下是详细步骤：

一、施工单位自检

1. 安装过程检查

1. 在安装过程中，施工人员需要按照施工规范和设计要求，对每一个安装步骤进行质量检查。例如，在基座组装阶段，检查部件连接是否紧密、螺栓拧紧力矩是否符合要求；在减震材料安装时，查看减震材料是否安装到位、有无损坏等情况。

2. 对于关键安装环节，如地脚螺栓的固定、水平度和垂直度的初步调整，施工人员需要使用量具进行测量，并记录数据。如果发现不符合要求的地方，及时进行调整和纠正。

2. 初步验收文件准备

1. 施工单位完成安装后，整理相关的施工记录和质量检验文件。这些文件包括基座材料的质量证明文件、设备和工具的校准记录、安装过程中的各项测量数据记录（如水平度、垂直度、尺寸偏差等）、焊接质量检测报告（如果有焊接作业）等。

2. 编写自检报告，详细说明安装过程是否符合设计和规范要求，对存在的问题及整改情况进行记录。自检报告是后续验收的重要依据之一。

二、初步验收（由建设单位、监理单位和施工单位共同参与）

1. 外观检查

1. 各方人员对防震基座的外观进行检查，包括基座表面质量、部件完整性和减震材料外观等方面。按照质量验收标准，查看基座表面是否平整光滑，有无划痕、磕碰、锈蚀等情况；检查各个部件是否齐全，无缺失或损坏；观察减震材料是否有破损、老化、变形等现象。

2. 对于发现的外观问题，记录在初步验收记录表中，并要求施工单位进行整改。整改完成后，需要再次进行检查确认。

2. 尺寸精度复核

1. 使用专业量具对基座的位置精度、尺寸偏差、水平度和垂直度进行复核。根据设计图纸和验收标准，检查基座的中心线与基础中心线的偏差、地脚螺栓孔位置偏差、外形尺寸偏差等是否在允许范围内；利用高精度水平仪和经纬仪重新测量基座的水平度和垂直度，确保其符合要求。

2. 如果尺寸精度不符合要求，施工单位需要分析原因并采取措施进行调整。调整后再次进行测量复核，直至符合标准。

3. 连接质量检查

1. 检查地脚螺栓的安装情况，包括螺栓的垂直度、拧紧力矩和防松措施。使用扭矩扳手抽查部分地脚螺栓的拧紧力矩，检查是否符合规定要求；查看防松装置（如弹簧垫圈、双螺母等）是否安装正确且有效。

2. 对于焊接连接部位（如果有），检查焊缝外观质量，并核对焊接质量检测报告。如有必要，可要求对部分焊缝进行现场无损检测，如超声波探伤或磁粉探伤，以确保焊缝内部质量符合标准。

三、减震性能测试（如有条件和必要）

1. 减震材料性能验证（如有条件）

1. 如果有条件进行减震材料性能测试，可以在现场或实验室进行。对于橡胶垫等减震材料，通过专业的材料试验机进行压缩试验，测量其弹性模量、阻尼系数等性能参数，并与设计要求进行对比。

2. 对于弹簧减震器，使用弹簧测试设备测量其刚度、固有频率等参数，检查是否符合设计规定。测试过程中要确保测试设备的准确性和测试方法的规范性。

2. 减震效果现场测试（如有必要）

1. 在设备安装到基座上后（如果设备已安装），可以进行现场减震效果测试。在设备运行或模拟设备运行产生振动的情况下，使用振动传感器在设备底部（安装减震基座处）和设备关键部位进行振动测量。

2. 对比安装减震基座前后的振动数据，计算减震效率，评估减震效果是否达到设计要求。如果减震效果不理想，需要检查减震材料安装是否正确、是否需要更换减震材料或调整基座的安装方式等。

四、承载能力测试（如有要求）

1. 静载测试（如果需要）

1. 当有承载能力测试要求时，首先进行静载测试。按照设计承载重量，采用合适的加载设备（如砝码、液压千斤顶等）对基座进行加载。在加载过程中，密切观察基座的变形情况，使用位移传感器或水准仪等设备测量基座的变形量。

2. 根据设计标准，检查基座在设计承载重量下的变形量是否超过允许值。如果变形量过大，可能需要对基座的结构进行加固或重新评估设计方案。

2. 动载测试（如果适用）

1. 对于一些需要考虑动态负载的情况，进行动载测试。通过模拟设备实际运行中的动态力（如使用振动台或动力机构）对基座进行加载。在动载测试过程中，监测基座的振动响应、稳定性等情况，检查是否会产生共振等有害现象。

2. 动载测试需要专业的设备和技术人员进行操作，并且要制定详细的测试方案和安全措施，确保测试过程的安全和数据的准确性。

五、最终验收

1. 验收文件审核

1. 建设单位和监理单位对施工单位提供的全部验收文件进行审核，包括施工记录、质量检验文件、自检报告、测试报告（减震性能测试、承载能力测试等）等。确保文件内容完整、数据真实可靠，并且所有的测试和检查结果均符合设计和验收标准。

2. 综合评估

1. 综合考虑初步验收、减震性能测试、承载能力测试等各阶段的结果，对防震基座的安装质量进行全面评估。如果所有项目都符合要求，建设单位、监理单位和施工单位共同签署验收合格文件，标志着防震基座安装验收通过。

2. 如果存在部分不符合要求的情况，需要施工单位进行整改，整改完成后重新进行相应的测试和检查，直至符合验收标准，才能通过最终验收。