中图仪器表面3d轮廓光学测量仪采用了光学干涉技术、精密Z向扫描模块和3D重建算法组成测量系统，保证了高测量精度。为获得高测量重复性，保障仪器在大部分的生产车间环境中能稳定使用，生产的隔振系统能够有效隔离频率2Hz以上大部分振动，消除地面振动噪声和空气中声波振动噪声。
仪器分辨率0.1μm，重复性0.1%，应用领域广泛，操作简便，可自动聚焦测量工件获取2D，3D表面粗糙度、轮廓等一百余项参数。广泛应用于如纳米材料、航空航天、半导体等各类精密工件表面质量要求高的领域中，可以说只有3d非接触式光学轮廓仪才能达到微型范围内重点部位的纳米级粗糙度、轮廓等参数的测量。
薄膜粗糙度测量
金属光滑凹面轮廓测量
球面镜曲率半径与粗糙度测量
金属片磨损分析
技术参数
产品型号：SuperView W1系列
产品名称：光学3D表面轮廓仪
影像系统：1024×1024
光学ZOOM：0.5×，（0.75×，1×可选）
干涉物镜：10×，（2.5×，5×，20×，50×，100×可选）
XY平台：尺寸320×200mm，行程140×110mm，电动、手动同时具备，均为光栅闭环反馈
Z轴行程：100mm，电动
Z向扫描范围：10mm
Z向分辨率：0.1nm
水平调整：±5°手动
粗糙度RMS重复性：0.005nm
台阶高测量：准确度0.3%，重复性0.08% 1σ
主要特点：非接触式无损检测，一键分析、测量速度快、效率高
生产企业：深圳市中图仪器股份有限公司
注释：更多详细产品信息，请联系我们获取
中图仪器表面3d轮廓光学测量仪让轮廓测量价格变实惠，适用于各种产品、部件和材料表面的平面度、台阶高度、粗糙度、表面缺陷、磨损情况、孔隙间隙、腐蚀情况、波纹度、面形轮廓、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。
