RC铣孔作业区域洁净等级达标判断方法-江苏泊苏系统集成有限公司

RC铣孔作业区域洁净等级达标判断方法-江苏泊苏系统集成有限公司

在半导体防震基座安装的铣孔作业中，洁净等级直接影响后续设备运行稳定性，需通过科学检测确保符合 Class 1000 及以上标准（≥0.5μm 粒子浓度≤1000 个 /ft?），具体判断方法如下：

一、粒子浓度检测（核心指标）

1. 检测工具与校准

采用激光粒子计数器（需经计量部门校准，精度达 0.1μm），检测前用异丙醇清洁计数器采样口，避免自身污染。开机预热 30 分钟，确保设备处于稳定工作状态，采样流量设置为 1cfm（立方英尺 / 分钟）。

1. 采样点布置

在铣孔作业区（以孔位为中心，半径 5 米范围）均匀布置 5 个采样点：孔位正上方 1 米处、东 / 南 / 西 / 北方向各距孔位 2 米处。每个点连续采样 3 次，每次采样时间 1 分钟，记录≥0.5μm 和≥5μm 粒子浓度数据。

1. 达标判定标准

1. 所有采样点的≥0.5μm 粒子浓度单次测量值均≤1000 个 /ft?，且 5 点平均值≤800 个 /ft?；

1. ≥5μm 粒子浓度单次测量值≤10 个 /ft?，平均值≤5 个 /ft?；

1. 若任一采样点超标，需重新清洁作业区后间隔 30 分钟再次检测，连续 2 次达标方可判定合格。

二、表面洁净度检测

1. 可视化检查

用照度≥1000lux 的强光手电照射铣孔区域地面、设备表面及孔壁，在黑色背景下观察是否有可见粉尘（粒径≥50μm）。重点检查孔口边缘、吸尘罩内侧等易积尘部位，不允许有肉眼可见杂质。

1. 擦拭检测

用 Class 100 级无尘布（尺寸 10cm×10cm）蘸取超纯水（电阻≥18.2MΩ），在 100cm? 面积内以 500g 压力往返擦拭 3 次，将布片放入 10ml 超纯水中超声清洗（40kHz，5 分钟）。通过离子色谱仪检测清洗液中金属离子浓度（Na?、K?、Cl?等总含量≤0.1ppm），且显微镜下观察布片无≥1μm 颗粒物。

三、环境参数协同验证

1. 温湿度关联检测

用温湿度记录仪（精度 ±0.5℃、±2% RH）实时监测，确保作业区温度稳定在 22±2℃、相对湿度 45%±5%。若温湿度超出范围，需暂停检测，待环境恢复后 30 分钟重新采样，避免因气流紊乱导致粒子浓度波动。

1. 气流速度与均匀性

采用热球式风速仪在 HEPA 出风口下方 30cm 处检测，风速需保持在 0.45±0.05m/s，且同一截面各点风速偏差≤10%。若气流不均匀，可能导致局部粒子积聚，需调整 FFU 风机运行参数后重新检测。

四、动态监测与记录

1. 检测时机

需在以下节点进行检测：

1. 作业前 30 分钟（基础洁净度确认）；

1. 铣孔完成后立即检测（评估作业过程污染情况）；

1. 清洁处理后 30 分钟（验证清洁效果）；

1. 防震基座安装前 10 分钟（最终确认）。

1. 数据追溯

所有检测数据需记录在《洁净度检测记录表》中，包括检测时间、采样点位置、粒子浓度值、温湿度、操作人员等信息，附粒子计数器打印报告，存档至少 3 年。若后续发现设备异常，可通过记录追溯洁净度关联问题。

通过以上方法，可全面判定铣孔作业区洁净等级是否达标。实际操作中，需注意检测人员需穿戴全套 Class 100 级无尘服，避免检测过程引入新污染，确保数据真实可靠。