如何判断防震基座安装AB胶的施工质量是否达标?-江苏泊苏系统集成有限公司

边缘与溢出控制
胶层边缘需与基座 / 基础接触面紧密贴合,无明显脱胶(边缘翘起宽度>1mm 即为不合格)。
非粘结区域无胶料残留:溢出的胶料需彻底清理,避免固化后形成硬点导致振动传导异常(尤其半导体设备对微米级平整度敏感)。
颜色与均匀性
固化后胶层颜色需均匀一致,无局部发黄、发灰(可能因混合不均或固化温度异常导致成分分解)。

二、物理性能检测(核心指标)
1. 固化程度验证
硬度测试:用邵氏硬度计(如 Shore D 型,针对环氧类 AB 胶)检测胶层表面,硬度需符合说明书要求(如≥80D),且同一区域不同点的硬度偏差≤5D(硬度不足说明固化不完全,会导致强度衰减)。
溶剂擦拭测试:用蘸有无水乙醇的无尘布轻擦胶层表面,若出现溶解、发粘现象,说明固化未完全,判定为不合格。
2. 粘结强度检测(破坏性 / 抽样检测)
剪切强度测试:在同批次施工的样板(与实际基材相同)上进行剪切试验,测试值需≥设计要求(如半导体行业通常要求≥10MPa),且断裂位置需在基材而非胶层(若胶层内断裂,说明粘结强度不足)。
拉伸强度测试:对胶层进行拉伸试验,确保拉伸强度符合标准(如≥15MPa),且延伸率适中(避免过脆导致振动下开裂)。
3. 尺寸稳定性
测量胶层厚度:固化后厚度与施工时的设计厚度偏差需≤±0.2mm(过厚可能因收缩导致基座微变形,影响设备水平度)。
无明显收缩裂纹:胶层表面及边缘不得出现肉眼可见裂纹(收缩率需≤0.5%,可通过固化前后尺寸对比计算)。

三、应用适配性检测(针对半导体场景)
抗振动性能
模拟设备运行时的振动环境(如通过振动台施加 10-2000Hz 的正弦振动),测试后检查胶层是否出现剥离、裂纹,或基座与基础的相对位移量是否超过 0.01mm(需用激光干涉仪测量)。
洁净度与低挥发
Particle(颗粒)检测:用粒子计数器检测胶层表面及周围环境,确保固化后无粉尘脱落(Class 1000 洁净室要求≥0.5μm 颗粒数<100 个 /ft?)。
VOC 挥发测试:通过热脱附 - 气相色谱(TD-GC)检测胶层在工作温度(如 60℃)下的挥发物,总挥发量需<0.1mg/m??h(避免污染半导体晶圆)。
耐温与耐化学性
高低温循环测试(如 - 40℃~85℃,100 次循环)后,胶层无开裂、脱胶,硬度变化率≤10%。
耐溶剂测试:接触半导体常用化学品(如异丙醇、氢氟酸)后,胶层无溶胀、变色(浸泡 24 小时后重量变化率≤1%)。

四、施工过程追溯验证
记录完整性
施工记录需包含:AB 胶批次、配比精度(偏差需≤±2%)、混合搅拌时间、脱泡参数、固化温度 / 时间等,数据不全或异常(如配比错误、固化时间不足)可直接判定为不合格。
环境参数合规性
施工时的温度(15-30℃)、湿度(40%-60%)、洁净度(Class 1000 及以上)需符合要求,偏离范围过大可能导致质量隐患。
总结
半导体场景中 AB 胶的施工质量需满足 “零缺陷外观 + 达标物理性能 + 适配半导体环境” 的三重标准。外观和过程记录可初步筛查不合格项,而粘结强度、抗振动性、洁净度等核心指标需通过实验室检测验证。若任一指标不达标,需返工处理,否则可能因胶层失效导致设备振动超标,影响芯片制造精度。

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