PLR3000激光尺测量仪器是新一代高精度位置检测设备，基于激光干涉测量原理，专为超精密加工、微电子制造、光刻技术、航空航天等高要求领域设计。
PLR3000激光尺测量仪器0.02ppm稳频精度光纤激光尺突破性技术融合高稳定性氦氖激光光源与保偏光纤传输，支持单轴至多轴测量，分辨率可达10nm，线性精度高达0.2ppm，为复杂工业场景提供精准、可靠的位置反馈与控制。相比传统钢带尺或玻璃光栅，PLR3000光纤激光尺具有更加精确的栅距和更高的分辨率，同时其热源隔离设计，保证了更高的稳定性，具有安装快捷，易于准直等特点。可根据用户需求，配置单轴、双轴以及三轴输出，轻松实现多轴测量或多自由度测量。同时提供多种干涉探头配置，用户可根据实际需求选择角锥棱镜干涉仪、平面镜干涉仪和差分干涉仪以及无内置干涉镜组的测量探头，满足用户各种复杂场景应用。
核心优势
1. 高精度
（1）分辨率10nm（可拓展），线性测量精度0.2ppm，稳频精度0.02ppm，满足纳米级测量需求。
（2）环境气象站实时补偿温度、湿度、气压对测量的影响，确保数据长期稳定。
2. 灵活配置
（1）支持单轴、双轴、三轴输出，轻松实现多自由度测量。
（2）可选差分干涉仪、平面镜干涉仪、角锥棱镜干涉仪等多种探头，适配复杂场景。
3. 高稳定性与便捷性
（1）激光光源与探头分离设计，3米铠装光纤连接，避免设备散热干扰，安装灵活。
（2）体积小巧，适配狭小空间，降低阿贝误差风险。
4. 广泛适用性
PLR3000激光尺测量仪器大量程4米（可拓展），支持动态速度达2m/s，覆盖从静态检测到高速运动场景。
功能特点
（1）高分辨率数字正交信号输出，分辨率达10nm（可外部拓展）。
（2）高测量精度，线性测量精度达0.2~0.5ppm。
（3）高稳频精度，可达0.02~0.05ppm。
（4）测量范围大，最大量程可达4m（可拓展）。
（5）激光发射装置与干涉探头分离，通过3m铠装光纤与电缆连接，可将激光尺主机远离被测量设备，便于安装，同时还可避免主机散热对测量通路的影响。
（6）输出正交数字信号或1Vpp正余弦信号，可以适用于不同的控制器。
（7）体积小巧，适合狭小空间安装，可最大限度降低阿贝误差。
（8）即可作为激光干涉仪进行测量，也可用于闭环位置反馈控制。
（9）多通道输出，可轻松实现多轴同时测量及多自由度测量。
（10）环境补偿功能，一体化的环境气象站自动监视及更新环境气象参数，实时补偿温度、空气压力和湿度对激光在空气中空气折射率的影响，保证测量的准确性。
典型应用场景
半导体制造：光刻机晶圆定位、精密工件台反馈控制。
航空航天：发动机叶片形变检测、高精度装配校准。
精密加工：数控机床多轴联动位置反馈、微机械元件测量。
科研领域：光学平台稳定性监测、超精密实验设备控制。
服务与支持
定制化方案：根据需求提供探头配置、量程拓展、环境补偿单元等灵活选配。
专业认证：提供中国计量院或深圳市计量院出具的激光校准证书，确保数据性。
全球服务网络：1年质保，技术支持团队7×24小时响应，快速解决现场问题。
