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浙江省首个集成电路共享平台正式启用 拥有包括5.6亿元28纳米光刻机在内的60多台集成电路关键设备

半导体动态 ? 来源:工程师吴畏 ? 2019-06-19 16:42 ? 次阅读
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继共享充电宝、共享单车、共享汽车后,价值数亿元的集成电路设备也迎来了共享模式。杭州市投资促进局官网消息显示,6月17日浙江省首个集成电路共享平台——杭州临安青山湖微纳技术研发开放平台正式启用。

据介绍,青山湖微纳技术研发开放平台一期工程由中电海康集团出资12亿元,目前已全部到位;二期工程将由政府和中电海康集团共同出资13亿元打造。目前该平台拥有包括5.6亿元28纳米***在内的60多台集成电路关键设备、2300平方米洁净室核心技术骨干专家170余人,其中12英寸生产线最高可支持28纳米集成电路工艺。

在启用仪式上,中电海康集团作为开放平台运营方与浙江大学、杭州电子科技大学、江苏鲁汶仪器有限公司等7家单位签订合作协议。今后,青山湖微纳技术研发开放平台的60多台设备,可作为共享的平台资源,供广大企业、高校使用。

该开放平台具有公益性,且其优惠政策具有明显的地域性。据平台运营方相关负责人表示,不久的将来会出台平台运营管理细则,但目前“优惠政策”已明确,即购买该平台集成电路相关服务,青山湖科技城企业可享受35%优惠,浙江省内企业可享受30%的优惠,其他企业可享受15%的优惠。?

据透露,该平台的设备即使不算机器折旧费,每年的运营费用也近2亿元,至少要5年后才可能实现收支平衡。政府参与其中,主要是希望借助研发开放平台,打造微纳技术核心基础设施,加快集成电路设计、制造、封测等产业集聚。

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