中微公司亮相2025半导体设备与核心部件及材料展

第十三届半导体设备与核心部件展示会（CSEAC 2025）于2025年9月4日至6日在无锡盛大举行，本届大会以“专业化、产业化、国际化”为宗旨，聚焦技术交流、展览展示、产品发布和国际合作。中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）作为全球领先的半导体设备供应商，携多项先进技术与全新产品亮相展会，进一步凸显了其在半导体设备领域内的技术硬实力与行业影响力。

重磅发布六大新产品

加速迈向平台化公司

开幕式上，中微公司董事长兼总经理尹志尧博士在主旨报告环节做了题为《半导体设备产业的趋势和中微高速发展的策略》的演讲，正式宣布了六款新设备的发布，并深入阐述了新产品的先进性能与独特优势。尹志尧博士在演讲中深刻剖析了半导体设备产业的战略重要性、面临的挑战与机遇，深入解读了设备产业发展历史中若干特殊的规律性。他结合中微公司在产品开发战略、技术创新、产品差异化及知识产权保护方面的策略与实践，分享了科创企业实现高质量发展的“五个十大”体系，即“产品开发十大原则”、“战略销售十大准则”、“营运管理十大章法”、“精神文化十大作风”与“领导能力十大要点”。同时，他着重强调，需重视知识产权保护、坚持企业合规运营、倡导合作共赢，以推动半导体设备产业实现高速、稳定、健康、安全的发展。他的发言引发了现场听众的强烈共鸣，并在产业内产生了热烈反响。

尹志尧博士在报告中谈到，中微公司始终以市场与客户需求为导向，持续加大研发投入力度。公司2024年研发总投入达24.5亿元，较2023年增加94.31%，2025年上半年研发投入达14.92亿元，同比增长约53.70%，研发投入占公司营业收入比例约为30.07%，远高于科创板上市公司10%到15%的平均研发投入水平，彰显了中微公司对技术创新的坚定投入。目前，公司在研项目已涵盖六大类、超二十款新设备，研发速度实现跨越式提升——过去一款新设备的开发周期通常为3到5年，如今仅需2年甚至更短时间就能推出极具市场竞争力的产品并顺利落地。

先进技术与产品备受瞩目

展台荣获设计大赛一等奖

此次展会，中微公司展位上的裸眼3D视频的震撼效果引来了众多观众驻足。观众通过多媒体展示、实物模型、融合海报等多样化形式深入了解了中微公司在集成电路微观加工高端设备领域的最新成果与创新解决方案。

公司开发了包括单台机、双台机在内的三代、二十种刻蚀设备，包括CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两大类，覆盖从65纳米到5纳米及更先进工艺的刻蚀应用。此次展会展示了刻蚀设备、导体和半导体化学薄膜设备，如MOCVD、LPCVD、ALD和EPI设备，这些设备已在市场占据领先地位。

凭借卓越的设计与创新呈现，中微公司在此次的展台设计大赛中脱颖而出，荣获一等奖。此次获奖肯定了中微公司展台在视觉创意与功能性上的出色表现，也体现了中微公司作为半导体设备领域领军企业的综合实力与品牌形象。

展台设计大赛一等奖

行业同仁共聚高峰论坛

多位高管分享产业洞见

除了展位上的精彩展示，中微公司的多位行业专家还在展会同期的多场高规格论坛中精彩发声，凭借深厚的行业积累与独到见解，覆盖技术趋势、产业投资、人才培养等热点话题，为参会者提供深度洞见。

中微公司资深副总裁，全球业务管理，刻蚀产品事业总部、EPI及D-RID PECVD 产品部总经理丛海在半导体制造与设备及核心部件董事长论坛参加圆桌对话，分享了中微公司在相关领域的经验与思考。

中微公司集团副总裁、人力资源负责人何奕在“产教芯融合 —— 企业人力资源宣讲会” 上，做《不确定性中寻找确定性，企业文化助力提升组织能力》主题分享。

上海智微私募基金管理有限公司创始合伙人刘晓宇在半导体设备与核心部件投融资论坛中，发表《产业投资的协同布局与生态构建》主题演讲。

此次展会，不仅是中微公司展示实力的舞台，更是我们倾听行业声音、链接合作伙伴、共探发展机遇的重要契机。未来，中微公司将继续秉持“五个十大”的企业文化，坚持三维立体发展战略，深耕集成电路微观加工高端设备领域，持续加大技术研发投入，不断推出更具竞争力的产品与解决方案，为推动半导体产业链协同创新与高质量发展贡献更多力量。我们期待与更多行业伙伴携手，在半导体产业的新征程上，共创更多精彩与可能！

关于中微半导体设备（上海）股份有限公司

中微半导体设备（上海）股份有限公司（证券简称：中微公司，证券代码：688012）致力于为全球集成电路和LED芯片制造商提供领先的加工设备和工艺技术解决方案。中微公司开发的CCP高能等离子体和ICP低能等离子体刻蚀两大类、包括二十几种细分刻蚀设备已可以覆盖大多数刻蚀的应用。中微公司的等离子体刻蚀设备已被广泛应用于国内和国际一线客户，从65纳米到5纳米及更先进工艺的众多刻蚀应用。中微公司最近十年着重开发多种导体和半导体化学薄膜设备，如MOCVD，LPCVD，ALD和EPI设备，并取得了可喜的进步。中微公司开发的用于LED和功率器件外延片生产的MOCVD设备早已在客户生产线上投入量产，并在全球氮化镓基LED MOCVD设备市场占据领先地位。此外，中微公司已全面布局光学和电子束量检测设备，并开发多种泛半导体微观加工设备。这些设备都是制造各种微观器件的关键设备，可加工和检测微米级和纳米级的各种器件。这些微观器件是现代数码产业的基础，它们正在改变人类的生产方式和生活方式。在美国TechInsights（原VLSI Research）近五年的全球半导体设备客户满意度调查中，中微公司四次获得总评分第三，薄膜设备四次被评为第一。