半导体行业正面临一个严峻挑战:未来5年工程师缺口预计达6万人,偏偏此时,制造工厂对数据分析的需求却在爆炸式增长。如今的 “超级工厂” 每月要处理10万片以上晶圆,设备与工艺数据量极大 —— 这些数据急需专业分析,懂行的工程师却供不应求。
如何破解这一困境?
关键在于赋能制造业领域专家转型为 “公民数据科学家(Citizen Data Scientists,缩写CDS)”:让熟悉工艺的专家掌握数据分析工具,把数据分析纳入日常工作。这不是简单的角色延伸或工作量增加,而是半导体制造商在数据驱动决策与工艺优化上的根本性变革。
公民数据科学家是什么?
简单说,就是懂制造的专家(通常是工程师),具备足够的编程技能和分析工具知识,能独立做有意义的数据分析。无需依赖 IT 部门或专业数据团队,直接用设备数据解决生产中的急难问题。
这个 “新角色” 要做什么?
具体工作中,他们需要应对三类分析挑战:
1、设备表征与分析:摸清设备 “脾气”
连接新设备并识别关键动态变量,通过全面的实验设计(DOE)明确设备特性,建立工艺阈值和监控参数以检测偏差。
2、工艺优化:让生产更顺畅
识别相关变量、优化数据收集策略,通过多变量分析确定稳定操作范围,计算关键设备机制的特征图谱,为故障预防和预测性维护提供支持。
3、制造智能应用
开展腔室及工具间的匹配分析,构建特征行为库支持仿真和数字孪生应用,为特定工艺或设备开发定制化分析方法。
其核心是通过整合领域专业知识与数据分析能力,简化流程、减少跨部门协调成本,实现快速响应和解决问题。
行业标准:给数据 “定规矩”
半导体行业向复杂数据分析演进,离不开设备集成标准的支持,尤其是 SEMI E164(EDA 通用元数据)和 E190(设备数据发布)。
SEMI E164:设备数据的 “通用词典”
建立标准化元数据模型,支持更复杂的设备数据收集与解读,提供四大框架:结构化设备能力描述、标准化变量命名规范、全面的设备状态信息、改进分析应用的数据上下文描述。
SEMI E190:工艺数据的 “统一格式”
设备数据发布任务组制定的 E190 及 E190.x 标准,解决了特定工艺数据标准化的关键需求。首版 E190.1聚焦蚀刻工艺数据,未来还将覆盖扩散、注入、化学机械抛光等更多领域。
这些标准能实现:设备供应商间数据项与格式统一、数据质量与完整性提升、设备与分析平台集成优化、特定工艺分析方法标准化。而E164 与 E190 结合,能让不同厂商设备数据互通、分析平台易对接、数据质量更可靠,降低CDS面临的集成复杂性。
好用的工具:让分析变简单
想让工程师轻松上手,需要强大的技术基础设施 —— 既能简化复杂性,又能提供强分析能力。
架构:三层架构,各司其职
制造分析平台通常采用三层架构,支撑公民数据科学家的工作流程:
1. 连接层:支持多种设备连接(兼容 SECS/GEM、EDA、OPC UA、MQTT 等协议),具备 Kafka 数据流处理能力,支持自定义设备驱动和可配置日志文件处理。
2.API 与通用服务层:简化不同协议对接、统一接口调用,将设备功能与模型对应实现标准化描述,统一管理异常警报并实时推送,同时负责设备运行参数收集和生产配方管理对接。
3.应用层:包含商业分析应用、定制化领域专家工具、第三方应用生态集成,支持 Python、C#、R 等编程环境。
自动化工具:减少冗余,提升效能
通过自动化数据准备流程,减轻工程师工作量:
1.数据收集与准备:支持拖放式创建数据收集计划,自动提取转换数据,通过带 Elasticsearch 索引的 NoSQL 数据库暂存,生成供分析的实时数据帧。
2.可视化与分析工具:无需代码即可创建交互式仪表盘,提供多维度分析的关联可视化面板,实现 3 秒内更新的设备实时监控,同时集成 Zeppelin、Jupyter 等计算笔记本。
3.机器学习技术:集成自动化特征提取与选择、基于长短期记忆(LSTM)网络的无监督异常检测、分类与回归模型开发,以及模型部署与监控功能。
实时分析:生产现场 “秒响应”
生产环境需要能处理实时数据的分析能力,平台通过以下方式支持:
1.设备级实时数据可视化仪表盘;
2.3 秒内完成数据管道处理;
3.支持 4000 + 设备连接的可扩展架构;
4.云部署(含本地连接选项);
实践成效:用先进技术保持盈利能力
随着设备复杂性、工艺精密性和产品要求提升,三大机制在维持制造盈利能力中至关重要:
1.提升运营效率:通过自动化数据收集与分析,将手动处理时间从数周缩至数小时,消除重复分析任务,更快识别解决工艺偏差,通过预测性维护提高设备利用率。
2.增强决策能力:高级分析平台提供实时工艺监控与控制,用多变量分析优化复杂工艺,通过预测建模提升良率和质量,绘制数据驱动的设备与工艺特征图谱。
3.降低成本与提升回报率:战略性培养公民数据科学家能力,减少对专业数据科学资源的依赖,加快制造难题解决,通过严苛工艺控制减少废料和返工,提高设备可靠性与运行时间。
如何落地实施?
实施需从技术、安全、组织三个维度系统规划:
技术:基础设施无需 “高配”
多数应用在标准计算平台即可高效运行:基础统计分析和数据收集,用现代笔记本级硬件就够;涉及图像处理或神经网络训练的高级机器学习应用,可借助云平台或专用工作站的 GPU 加速提升效率。
安全:数据安全不能马虎
生产环境实施需构建完善安全框架:所有数据访问用令牌式 API 认证,云连接全程加密,设备与数据资源按角色控制访问,所有分析活动及结果保留完整审计轨迹,全方位保障数据安全。
组织:“搭好班子” 是关键
制造与 IT 部门需深度配合:明确分析工具使用与数据访问规范,建立分析解决方案生产部署的标准流程,开展面向领域专家的编程与分析技能培训,构建平衡创新与运营稳定性的治理机制,确保技术应用与组织目标一致。
制造分析的未来
“公民数据科学家” 并非跟风,而是半导体制造的必然选择,标志着制造商在数据驱动决策方式上的根本转变。随着 AI 和机器学习技术普及,配备工具与培训的制造专家能摆脱传统障碍,直接应对分析难题。
这一变革能加快问题解决、催生创新分析方法,更好融合领域知识与先进分析能力。成功实施这一项目的组织,将更能应对现代半导体制造的复杂性,同时保持卓越运营与盈利能力。
行业标准、先进分析平台与专家赋能的深度融合,为制造业优化与创新创造了前所未有的机遇。未来属于那些能通过精心设计的技术与组织框架,有效弥合领域知识与数据科学能力差距的组织。
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