MEMS惯性器件主要技术指标

MEMS惯性器件包括MEMS加速度计和MEMS陀螺仪，前者测量物体的加速度，通过一次积分和二次积分获得物体的速度和位置。后者测量物体的姿态角速率，通过积分获取物体的姿态角。

作为在工程上广泛应用的测量装置，MEMS惯性器件的指标需要能体现其测量的精度，测量的稳定性以及应用时对环境的适应性。

致谢：文章参考记忆的抽屉官微。

爱普生六轴惯性测量单元（IMU）

IMU（Inertial Measurement Unit），即惯性测量单元。EPSON/爱普生新推出的M-G370等系列惯性测量单元（IMU）是一种核心参数达到光纤陀螺仪级别的高精度MEMS三轴陀螺仪/六轴陀螺仪，集成了3个单轴角速度传感器和3个单轴加速度传感器，用以同时精确测量三个方向的角速度和加速度变化。

1、M-G370和M-G366区别如下：

2、M-G370和M-G366可应用产品如下：

对于具有FOG*2级性能的M-G370来说，凭借高精度和高稳定的测试性能，被广泛应用于惯性导航和对位置测量精度要求高的领域，如自主驾驶、无人驾驶、导航等领域。

应用实例

● 精密农业和建筑机械的自主驾驶和无人控制。

● 无人设备，如工业无人机、地面车辆和水下设备。

● 导航系统(GNSS*9、INS*10、高精度定位仪)。

● 云台相机和天线稳定系统。

● 工业设备和车辆的振动、角度和路径测量。

应用一：无人机

应用二：自主驾驶

爱普生的陀螺仪传感器有着优越的温度特性及低噪音特性，推动了各种应用领域的进化。例如汽车导航、家用电视游戏机的遥控器、电脑的3D 鼠标、自动吸尘机或业余兴趣爱好等。

新一代MEMS IMU型号M-G370长期稳定性BIS小于1dph（0.8dph），误差0.06度/小时。