超声谐振驱动原理的直线与360°旋转压电马达！
利用超声谐振驱动原理的压电马达，其基本工作原理就是利用压电材料的逆压电效应，使其能产生超声波频率的机械振动，再通过摩擦驱动的结构设计，从而驱动移动台做旋转运动或直线运动。
超声是一种超出人听觉范围外的高频振动，因此超声压电马达具有噪声小的特点。此外，它还具有结构小，响应速度快，可断电自锁等优点。在精密加工测量仪器、半导体加工设备、医疗、航空航天等高技术领域应用前景广阔。
不同压电马达的运动原理
芯明天超声谐振驱动压电马达
（1）N59系列直线压电马达
产品外观
产品特点
? 一维X向运动
? 速度达25mm/s
? 分辨率达50nm
? 断电自锁
应用
? 光学仪器领域
? 精密仪器领域
? 医疗器械
? 微剂量注射器
? 小负载、大行程纳米定位
? 科学研究
? 光纤对接
? 微细加工
? 原子力显微镜
? 半导体的精密定位和微纳操作等
技术参数
| 型号 | N59.9K |
| 运动自由度 | X |
| 标称行程范围 | 9 或 ±4.5mm |
| 速度上限 | 25mm/s |
| 分辨率 | 50nm |
| 负载能力 | 0.2kg |
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 质量 | 4g |
| 材质 | 铝，不锈钢 |
| 电缆长度 | 0.1m |
（2）N69系列旋转压电马达
产品外观
产品特点
? 360°双向旋转运动
? 速度可达220rpm
? 断电自锁
? 真空版本可选
应用
? 光学仪器领域
? 精密仪器领域
? 医疗器械
? 微剂量注射器
? 半导体技术
? 图像处理
? 纳米计量
? 光学仪器设备制造
? 干涉仪等
技术参数
| 型号 | N69.K2 |
| 运动自由度 | 360°双向 |
| 最大速度 | 220rpm |
| 分辨率 | 30μrad |
| 扭矩 | 1mN·m |
| 轴向负载力 | 0.2kg |
| 工作温度 | 0~50℃ |
| 质量 | 3.5g |
| 材质 | 钢、铝 |
| 电缆长度 | 0.1m |
配套控制器
E66.A2K-H1板卡式压电控制器可控制N69系列和N59系列超声压电马达，单通道开环驱动，尺寸为38mm×27mm×12mm，可外部输入PWM信号控制，操作更便捷，小体积设计更易集成。
审核编辑 黄宇
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