陆芯精密切割——精密划片机优势及工艺介绍
陆芯精密晶圆切割机优势
1.设备精准度高（0.0001mm）
2.切割精度1.5um
3.效率高
4.加工品种多样化（晶圆、陶瓷、玻璃、QFN/DFN、PCB基板等）
5.成本低（设备、加工耗材、设备保养维护）
6.环境要求低（普通千级无尘车间）
7.操作简单易懂易上手（对标DISCO）
8.售后服务好
9.机器交付周期短
常见切割品种及简单工艺介绍
一、BGA/WAFER类晶圆
切割刀片 | SD1000N25MR020752D*0.048T*40H |
膜型号 | LINTEC |
主轴转速 | 28000-30000rpm |
切割水流量 | Blade1.0-1.2L/min |
Shower0.8-1.2L/min | |
校准方式 | 手动校准、自动校准 |
切割效率 | 8寸平均1h/片、12寸平均1.5h/片 |
二、二极管、三极管、MOS管类硅片
切割刀片 | ZH05-SD4000-N1-70BA |
膜型号 | SPV224 |
主轴转速 | 38000-50000rpm |
切割水流量 | Blade1.2-1.5L/min |
Shower1.0-1.2L/min | |
校准方式 | 手动校准、自动校准 |
切割效率 | 4寸10min/片、6寸20min/片、8寸30min/片、12寸1h/片 |
三、氧化铝、碳化硅类陶瓷
切割刀片 | SDC500-R75TNF56D×0.15T×40H |
膜型号 | LINTEC |
主轴转速 | 25000-35000rpm |
切割水流量 | Blade1.2-1.5L/min |
Shower1.0-1.2L/min | |
校准方式 | 手动校准、自动校准 |
切割效率 | 平均30min/片 |
四、光学玻璃、浮法玻璃类
切割刀片 | SD1000N25MR020756D*0.1T*40H |
膜型号 | LINTEC |
主轴转速 | 28000-35000rpm |
切割水流量 | Blade0.8-1.0L/min |
Shower1.0-1.2L/min | |
校准方式 | 手动校准、自动校准 |
切割效率 | 平均20min/片 |
五、QFN/DFN类
切割刀片 | SDC320R01Q58D-0.3T-40H |
膜型号 | 6360-15 |
主轴转速 | 21000rpm |
切割水流量 | Blade1.2-1.5L/min |
Shower1.2-1.5L/min | |
校准方式 | 自动校准 |
切割效率 | 5-8min/条 |
六、PCB/MEMS基板类
切割刀片 | D8/20-MDS56D-0.1T-40H2d/1W/16N |
膜型号 | 6360-15 |
主轴转速 | 25000rpm |
切割水流量 | Blade1.2-1.5L/min |
Shower1.2-1.5L/min | |
校准方式 | 自动校准 |
切割效率 | 5min/条 |
七、碳纤维板、玻璃纤维板类
切割刀片 | D8/20-MDS56D-0.1T-40H2d/1W/16N |
膜型号 | 6360-15 |
主轴转速 | 35000rpm |
切割水流量 | Blade1.2-1.5L/min |
Shower1.2-1.5L/min | |
校准方式 | 手动校准、自动校准 |
切割效率 | 20min/片 |
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