10.4.4 定向自组装光刻技术（DSA）∈《集成电路产业全书》
Directed Self-assembly Lithography（DSA）
审稿人：北京大学 蔡一茂 杨远程
https://www.pku.edu.cn
审稿人：北京大学 张兴
10.3 集成电路新材料
第10章 集成电路基础研究与前沿技术发展
《集成电路产业全书》下册
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