关于光刻技术的五大分类
光刻是通过一系列操作，除去外延片表面特定部分的工艺，在半导体器件和集成电路制作中起到极为关键的作用。
按照曝光方式光刻可分为接触式曝光、扫描投影式曝光、步进式曝光、步进式扫描曝光和电子束直写曝光。
接触式光刻
工作时晶片一般与掩模版相接触（或者有几微米的间隔），对准后一次性完成曝光。由于易污染掩模版和较低的分辨能力，一般适用于0.5 微米以上的工艺。
扫描投影式光刻
利用反射系统将图形投影到晶片表面，克服接触式光刻的问题。
步进式光刻
光源并不是一次把整个掩模上的图形投影在晶圆上，而是每次只曝光晶片的一部分，载有掩模的工件台沿着一个方向移动，等价于曝光系统对掩模做了扫描。
步进式扫描光刻
使用分布重复和扫描的办法对图形扫面。
电子束直写曝光
在几种曝光方式中，电子束曝光的分辨率最高，同时其还具有不需要制备掩模版等优点。但是由于其曝光原理的限制，这种曝光方式一般较慢，对工业级的大规模生产并不适用。
审核编辑：刘清
声明：本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人，不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用，如有内容侵权或者其他违规问题，请联系本站处理。
举报投诉
-
集成电路
+关注
关注
5431文章
12173浏览量
369272 -
半导体器件
+关注
关注
12文章
782浏览量
33155 -
光刻技术
+关注
关注
1文章
151浏览量
16254
原文标题：涨知识！关于光刻技术的五大分类
文章出处：【微信号：光电资讯，微信公众号：光电资讯】欢迎添加关注！文章转载请注明出处。
发布评论请先 登录
相关推荐
热点推荐
广汽人形机器人GoMate的五大核心技术
在2025世界机器人大会上，广汽第三代具身智能机器人GoMate一经亮相，便迅速成为全场焦点。凭借多项领先技术，GoMate在众多国内外优秀机器人企业的同台竞技中脱颖而出，成为炙手可热的“明星”。接下来，小编为大家深度解码GoMate的五大核心
光刻工艺中的显影技术
一、光刻工艺概述 光刻工艺是半导体制造的核心技术，通过光刻胶在特殊波长光线或者电子束下发生化学变化，再经过曝光、显影、刻蚀等工艺过程，将设计在掩膜上的图形转移到衬底上，是现代半导体、微
国星光电推动五大显示场景全面开花
在人工智能技术蓬勃发展、消费品以旧换新政策等利好驱动下，LED行业正迎来技术迭代提速与政策红利释放的叠加机遇期。国星光电紧抓机遇，加速科技突围，深耕新型显示技术，推动五大显示场景全面开
光刻图形转化软件免费试用
光刻图形转化软件可以将gds格式或者gerber格式等半导体通用格式的图纸转换成如bmp或者tiff格式进行掩模版加工制造，在掩膜加工领域或者无掩膜光刻领域不可或缺，在业内也被称为矢量图形光栅化软件
发表于 05-02 12:42
最全最详尽的半导体制造技术资料，涵盖晶圆工艺到后端封测
——薄膜制作(Layer)、图形光刻(Pattern)、刻蚀和掺杂，再到测试封装，一目了然。 全书共分20章，根据应用于半导体制造的主要技术分类来安排章节，包括与半导体制造相关的基础技术
发表于 04-15 13:52
陶瓷基板五大工艺技术深度剖析：DPC、AMB、DBC、HTCC与LTCC的卓越表现
在电子封装技术的快速发展中，陶瓷基板因其出色的电绝缘性、高热导率和良好的机械性能，成为了高端电子设备中不可或缺的关键材料。为了满足不同应用场景的需求，陶瓷基板工艺技术不断演进，形成了DPC、AMB、DBC、HTCC与LTCC这五大
不只依赖光刻机！芯片制造的五大工艺大起底！
在科技日新月异的今天，芯片作为数字时代的“心脏”，其制造过程复杂而精密，涉及众多关键环节。提到芯片制造，人们往往首先想到的是光刻机这一高端设备，但实际上，芯片的成功制造远不止依赖光刻机这一单一工具。本文将深入探讨芯片制造的五大关
晶圆级封装技术详解：五大工艺铸就辉煌！
和低成本等优点，成为满足现代电子产品小型化、多功能化和高性能化需求的关键技术。本文将详细解析晶圆级封装的五项基本工艺，包括光刻（Photolithography）工
光刻掩膜技术介绍
?? 光刻掩膜简介 ?? ? 光刻掩膜（Photomask）又称光罩、光掩膜、光刻掩膜版等，通常简称“mask”，是半导体制造过程中用于图案转移的关键工具，对于光刻工艺的重要性不弱于
用来提高光刻机分辨率的浸润式光刻技术介绍
? 本文介绍了用来提高光刻机分辨率的浸润式光刻技术。 芯片制造：光刻技术的演进 过去半个多世纪，摩尔定律一直推动着半导体
光刻机的工作原理和分类
? 本文介绍了光刻机在芯片制造中的角色和地位，并介绍了光刻机的工作原理和分类。? ? ? ?? 光刻机：芯片制造的关键角色 ? ? 光刻机在
线上逛展 | 沉浸探索第三届OpenHarmony技术大会五大展区
世博中心又有什么大事发生？
第三届OpenHarmony技术大会
五大展区全方位展示智慧互联未来
雷科技从现场发来探展邀约
一起跟随他的视角漫步展区
在精彩纷呈的特色产品、应用案例中
体验OpenHarmony的快速发展吧！
发表于 10-24 21:50
工商网监
评论