PureLine 3技术可消除97%的探针台环境噪声

新的PureLine 3技术可消除97%的环境噪声，使频谱噪声性能提高32倍。利用该技术，可在片测量高精度的器件性能，并为IC设计者生成器件模型。

早些时候，我们发布了一篇博客，宣布推出CM300xi-ULN探针台。这一新的在片噪声测试金标准具有许多新特点，但最重要的特点是PureLine?第三代技术。

该技术包含我们的大量专利、电气设计知识和测量系统IP，共同为被测器件（DUT）提供有效的无噪声环境。

与Elite300和CM300探针台以前的PureLine版本相比，新的PureLine 3可消除97%的环境噪声，使频谱噪声性能提高32倍。利用该技术，可在片测量高精度的器件性能，并为IC设计者生成更有价值的器件模型。

使用具有PureLine 3技术的新型CM300xi-ULN探针台，设备测试工程师、可靠性工程师和IC设计工程师均可从这一最新技术中受益。现在可简单自动地对先进材料、封装互连、晶体管和IC进行精确的闪烁、RTN和相位噪声测量，更快地获取数据。

PureLine 3技术集成到CM300xi-ULN探针台的许多组件中，包括：

• ULN微室?:这为探针台、DUT和晶圆卡盘区域周围提供了关键测量环境，以进行低噪声测试。新增强的ULN微室确保了完整的EMI/RFI屏蔽区域，就像一个小型的、本地化的大型实验室法拉第笼。此外，ULN微室提供了所需的黑暗和干燥环境，这对于测量光敏晶体管和在负温度（< =-60℃）下无霜运行的器件至关重要。
• ULN电力调节装置(PCU)：该集成的ULN系统组件可为整个系统-探针台和仪器提供全面管理和过滤的交流电源。机架安装ULN电源调节装置（PCU）的专利PureLine 3技术使设备占地面积小、场发射率低，并为消除探针台和仪器之间产生明显低频噪声的接地回路的测试单元电源管理（TCPM）奠定了基础。ULN PCU为探针台、热冷却器和控制器、晶圆装载器、动力配件和所有测试仪器提供清洁、过滤的交流电源。此外，PCU为整个系统和所有仪器的安全运行提供统一的紧急断电/紧急电源控制系统。
• ULN热过滤模块：ULN热过滤模块包含在所有带有热控制晶圆卡盘的ULN系统中。这对于在温度下实现超低噪声测量至关重要外部热控系统产生的有害噪声被过滤，防止进入关键的低噪声测量环境中。有源模块显著降低高频噪声，1Mhz以上可降低30dB。
• ULN单点接地和布线系统：每个ULN系统还包括用于所有探针台配件的单点接地系统，具有低电阻接地连接。PureLine 3的设计实践为机械组件提供了低电阻材料和硬连接方案-降低了将不必要的射频噪声输入测量路径的天线效应。
• 精确测量PLL相位噪声的ULN SMU过滤模块：对于锁相环电路（PLL）和压控振荡器（VCO）等设备的高精度相位噪声测量，新开发的源测量单元（SMU）DC过滤模块可与CM300xi-ULN探针台一起使用，以提供超静音/清洁的DC电源电压。高性能DC SMU过滤模块可提供高达100dB的衰减（50Hz至80Mhz），可处理最大100mA DC电流。每个SMU过滤模块支持一个通道，多个模块可配置在一起，以提供多通道清洁电源。
• ULN智能接触技术模块：新的ULN智能接触技术?模块（1、2和4探针座系统）具有PureLine 3降噪功能，使CM300xi-ULN成为世界上第一个在30μm焊盘上实现自主闪烁噪声热测试的探针台。利用自动化DC测量助手，CM300xi-ULN可配置为使用带电动探头定位器的ULN优化的
• Contact Intelligence技术，进行完全自主的DC和闪烁噪声测量，在不同温度下实现全天候自动运行。

审核编辑：符乾江