光刻机是集成电路制造的关键核心设备，为了在更小的物理空间集成更多的电子元件，单个电路的物理尺寸越来越小，主流光刻机在硅片上投射的光刻电路分辨率达到50-90nm。
2016-12-13 02:04:11
12610 作为近乎垄断的光刻机巨头，ASML的EUV光刻机已经在全球顶尖的晶圆厂中获得了使用。无论是英特尔、台积电还是三星，EUV光刻机的购置已经是生产支出中很大的一笔，也成了7nm之下不可或缺的制造设备
2021-12-01 10:07:4112628 坚持开发并扩展自己的光刻机业务。 ? 尼康 ? 尼康的光刻机产品阵容比较全面，包括ArF浸没式扫描光刻机、ArF步进扫描光刻机、KrF扫描光刻机、i线步进式光刻机和FPD面板光刻机，基本涵盖了除EUV以外的主流光刻机。其中最新的NSR-S635E为ArF浸没
2022-11-24 01:57:006572 `光刻机MPA500FAb用光栅尺传感器(扫描部位)供应。型号：SONY SR-721 150mm SCALE UNIT with HK-105C`
2020-01-31 18:04:14
时期用上EUV光刻，国内的中芯国际也从ASML订购了一台EUV光刻机，但因为种种问题，现在交货时间还未明确。
2020-07-07 14:22:55
！光刻机本身的原理，其实和相机非常相似，同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相机。相机的原理，是被摄物体被光线照射所反射的光线，透过相机的镜头，将影像投射并聚焦在相机的底片（感光元件）上，如此便可
2020-09-02 17:38:07
45-50台的交付量。这其中很大一部分都供给了台积电，用于扩充5nm，以及7nm产能。中微半导体除光刻机之外，蚀刻机也是5nm制程工艺不可缺少的，目前，全球高端刻蚀机玩家仅剩下应用材料、Lam
2020-03-09 10:13:54
芯片任重而道远。2.国内单片机芯片：晶圆硅提纯时需要旋转，然后进行切割成晶圆。晶圆加工的过程有点繁琐。首先在晶圆上涂一层感光材料（见光融化），光刻机提供精准的光线，在感光材料上刻出图案，让底下的晶圆裸露出
2018-09-03 16:48:04
电子直写光刻机驻极体圆筒聚焦电极
随着科技进步，对电子显微镜的精度要求越来越高。电子直写光刻机的精度与电子波长和电子束聚焦后的焦点直径有关，电子波长可通过增加加速电极电压来减小波长，而电子束聚焦后
2025-05-07 06:03:45
据羊城晚报报道，近日中芯国际从荷兰进口的一台大型光刻机，顺利通过深圳出口加工区场站两道闸口进入厂区，中芯国际发表公告称该光刻机并非此前盛传的EUV光刻机，主要用于企业复工复产后的生产线扩容。我们知道
2021-07-29 09:36:46
光刻机的工作台是一个六自由度的运动台，其中X/Y向运动台是的核心基础工序。管控XY轴角度Yaw和Pitch，直线度Horizontal Straightness和Vertical
2023-02-20 15:49:07
GK-1000光刻掩膜版测温仪，光刻机曝光光学系统测温仪光刻机是一种用于微纳米加工的设备，主要用于制造集成电路、光电子器件、MEMS（微机电系统）等微细结构。光刻机是一种光学投影技术，通过将光线通过
2023-07-07 11:46:07
光刻机掩膜台微动台调平控制系统设计_何良辰
2017-01-28 21:37:15
18 本文以光刻机为中心，主要介绍了光刻机的分类、光刻机的结构组成、光刻机的性能指标、光刻机的工艺流程及工作原理。
2017-12-19 13:33:01164929 
荷兰作为光刻的生产大国，很多人纷纷都在问为什么荷兰能生产二中国不行.本文主要分析了中国光刻机的发展分析以及与荷兰之间的差距，详细的说明了荷兰光刻机为什么厉害，为何光刻机不卖给中国的原因。
2017-12-19 14:56:42126122 光刻机是芯片制造中光刻环节的核心设备， 技术含量、价值含量极高。 光刻机涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术，是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备，因此也具备极高的单台价值量。
2018-04-10 10:19:4737281 。光刻机被全球业界人士们称为“工业皇冠明珠”。而事实上，中国科研和工程人员们也都有志在未来，从“工业皇冠”上拿到这颗“明珠”。
2018-04-10 10:57:41246784
据业内最新消息，全球最大的芯片机器制造商、荷兰的AMSL证实，中国向荷兰订购一台最新型的使用EUV（极紫外线）技术的芯片制造机器光刻机，订货单位是中芯国际（SMIC）。这也几乎花掉了中芯国际
2018-05-20 10:32:3714309 近日消息，长江存储从荷兰阿斯麦(ASML)公司订购的一台光刻机（非EUV光刻机）已抵达武汉。这台光刻机价值高达7200万美元，约合人民币4.6亿元。此外，中芯国际中芯国际也向阿斯麦下单了一台价值高达1.2亿美元的EUV。
2018-05-27 07:46:007965
近日，国内几家于2015~2016年投资建设的半导体制造厂开始进入密集的设备移入期。5月20日，上海华力二期建设的华虹六厂搬入了首台荷兰阿斯麦公司(ASML)生产的NXT 1980Di光刻机
2018-06-03 10:35:114221 多款EUV机型开始出货。三星、台积电均已表示将会在7nm工艺中采有EUV光刻机。
我国光刻机研制远远落后国际水平
光刻机在集成电路生产中如此重要，然而光刻机产业却处于高度垄断状态，全球
2018-07-13 17:25:005803
Q3临近，各家公司的财报也是悲喜两重天，而全球最大的光刻机公司荷兰ASML公司保持开挂态势，当季营收27.8亿欧元，净利润6.8亿欧元，同比增长13.4%，出货了5台EUV光刻机。据悉
2018-10-22 15:18:343098 格芯首席技术官Gary Patton表示，如果在5nm的时候没有使用EUV光刻机，那么光刻的步骤将会超过100步，这会让人疯狂。所以所EUV光刻机无疑是未来5nm和3nm芯片的最重要生产工具，未来围绕EUV光刻机的争夺战将会变得异常激烈。因为这是决定这些厂商未来在先进工艺市场竞争的关键。
2019-09-03 17:18:1814401 
光刻机是芯片制造最为重要的设备之一。目前，ASML垄断了全世界的高端光刻机。中国一直以来都想掌握光刻机技术，但是上海微电子经过17年的努力，才造出90nm的光刻机，这已经十分不容易了，这可是0的突破。那么为什么光刻机这么难造呢？
2020-01-29 11:07:008444 相信大家都知道，在前一段时间，关于ASML无法按期交付中芯国际所订购的极紫外光刻机的事件，也是引发了国内网友们的高度关注，其中有网友更是直接认为：“ASML的光刻机估计遭受到了美国方面的“禁运”，导致中芯国际无法正常收到货。”
2020-01-10 09:11:3012243 据中国证券报报道，3月6日下午从中芯国际获悉，日前中芯国际深圳工厂从荷兰进口了一台大型光刻机，但这是设备正常导入，用于产能扩充，并非外界所称的EUV光刻机。
2020-03-07 10:55:144754 月4日，中芯国际深圳厂区成功从ASML进口了一台大型光刻机，目前该台光刻机设备已经顺利进入深圳厂区，但让人遗憾的是这台光刻机并非是最先进的EUV光刻机设备；据悉，中芯国际所购买的这台光刻机设备，将会
2020-03-13 14:31:207957 在EUV光刻机方面，荷兰ASML（阿斯麦）公司垄断了目前的EUV光刻机，去年出货26台，创造了新纪录。据报道，ASML公司正在研发新一代EUV光刻机，预计在2022年开始出货。
2020-03-17 09:13:483248 ，中国最好的光刻机厂商上海微电子装备有限公司（SMEE）已经量产的光刻机中，性能最好的SSA600/20工艺只能达到90nm，相当于2004年上市的奔腾四CPU的水准。而国外的先进水平已经达到了7纳米，正因如此，国内晶圆厂所需的高端光刻机完全依赖进口。
2020-03-18 10:52:1191744 光刻机是芯片制造的核心设备之一，作为目前世界上最复杂的精密设备之一，其实光刻机除了能用于生产芯片之外，还有用于封装的光刻机，或者是用于LED制造领域的投影光刻机。目前，我国高端的光刻机，基本上是从荷兰ASML进口的。
2020-03-18 11:12:0246754 据韩媒etnews报道，业内人士透露，LG Display计划本月从尼康引进一台步进式光刻机，用于坡州市P10工厂内的10.5代OLED产线。据悉，该公司计划在今年年底前再从尼康引进3到4台步进式光刻机，以加快将业务重心转向OLED。
2020-03-18 14:04:25684 光刻机是半导体制造设备中价格占比最大，也是最核心的设备，是附加价值极高的产品，被誉为是半导体产业皇冠上的明珠。
2020-03-19 13:55:2013426 据国外媒体报道，半导体行业光刻系统供应商ASML（阿斯麦）去年交付了26台极紫外光刻机（EUV），调查公司Omdia表示，其中约一半面向大客户台积电。ASML此前公布，2019年，共向客户交付了26
2020-04-09 11:20:062723 中芯国际接连取得突破，打破西方光刻机封锁，胜利女神在招手！在我国半导体行业内，一直存在着一个重大问题，那就是我国国产光刻机的精度仅为90nm，那么90nm精度的光刻机到底能够干什么呢？
2020-04-10 17:52:0613204 众所周知全球最大的两个芯片代工厂是三星和台积电，虽说台积电和三星如果断供，像华为麒麟高端芯片可能就会瘫痪，但三星和台积电也没有自己的光刻机，只能跟荷兰ASML公司购买。
2020-04-13 17:22:3049267 集微网消息，近日，福建安芯半导体科技有限公司出货一台价值近千万元的光刻机，现已交付国内某研究所用于cmos领域研究。
2020-04-14 16:03:008157 近日，福建安芯半导体科技有限公司出货一台价值近千万元的光刻机，现已交付国内某研究所用于cmos领域研究。
2020-04-14 16:50:479726 台积电上周发布了3月及Q1季度财报，营收同比大涨了42%，淡季不淡。不过接下来的日子半导体行业可能不太好过了，ASML的EUV光刻机已经断货，要延期交付，好在台积电今年已经在5nm工艺上抢先三星了。
2020-04-15 08:55:173528 近日，福建安芯半导体科技有限公司时隔1个月，再次出货一台价值近千万元的光刻机，现已交付国内某研究所用于cmos领域研究。
2020-04-15 10:47:0037269 虽然目前上海微电子装备（集团）股份有限公司所生产的光刻机设备较为低端，但依旧占据着国内近80%的光刻机市场份额，所以SMEE凭借几乎垄断国内的光刻机市场份额，依旧能够在全球光刻机设备制造领域排名第
2020-06-09 11:36:066341 光刻机是中国在半导体设备制造上的大短板。 生产芯片的光刻机又根据工艺分为High End光刻机和Medium and low end光刻机，虽然在High End光刻机上被荷兰的阿斯麦所垄断，但在Medium and low end光刻机方面中国的技术已经较为成熟，且不断在向High End光刻机突破。
2020-06-15 08:05:541409 与此同时， 他指出，EUV继续为ASML的客户提高产量，迄今为止，他们的客户已经使用EUV光刻机曝光了超过1100万个EUV晶圆，并交付了57个3400x EUV系统（3400平台是EUV生产平台）。
2020-08-14 11:20:552760 
作为光刻工艺中最重要设备之一，光刻机一次次革命性的突破，使大模集成电路制造技术飞速向前发展。了解提高光刻机性能的关键技术以及了解下一代光刻技术的发展情况是十分重要的。 光刻机 光刻机（Mask
2020-08-28 14:39:0414202 
光刻机又名：掩模对准曝光机，曝光系统，光刻系统等，是制造芯片的核心装备。它采用类似照片冲印的技术，把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。光刻机是半导体产业中最关键设备，光刻工艺决定了半导体线路的线宽，同时也决定了芯片的性能和功耗。
2020-09-30 16:17:136390 
近段时间有关芯片以及光刻机的话题非常热门，我们今天也来探讨一下光刻机的话题。
2020-10-17 11:32:148926 最近光刻机十分火，我们经常听到别人说7纳米光刻机、5纳米光刻机，但其实严格意义上来说并不存在7纳米光刻机，5纳米光刻机，我为什么会这样说呢？
2020-10-19 11:42:5122990 ASML的EUV光刻机是目前全球唯一可以满足22nm以下制程芯片生产的设备，其中10nm及以下的芯片制造，EUV光刻机必不可缺。一台EUV光刻机的售价为1.48亿欧元，折合人民币高达11.74亿元
2020-10-19 12:02:4910398 
作为半导体制造中的核心设备，光刻机无疑是芯片产业皇冠上的明珠，特别是先进工艺的光刻机，7nm以下的都要依赖ASML公司，EUV光刻机他们还是独一份。
2020-11-09 17:11:382590 在芯片制造环节中，光刻机是核心设备。没有光刻机，半导体或遭断链危机，摩尔定律将停止，人类也就无法设计、制造和封装硅芯片。放眼全球，一家叫做ASML（阿斯麦）的荷兰公司市场占有率达80%，是行业的绝对
2020-11-13 09:28:516043 订购了至少13台ASML的Twinscan NXE EUV光刻机，将会在2021年全年交付，不过具体的交付和安装时间表尚不清楚。 同时，明年台积电实际需求的数量可能是高达16到17台EUV光刻机
2020-11-17 16:03:382215 订单，至少有13台。 阿斯麦是目前全球唯一一家能供应极紫外光刻机的厂商，台积电、三星等厂商所需要的极紫外光刻机，也全部由阿斯麦供应。 从近两年阿斯麦极紫外光刻机的交付量来看，台积电下达的2021年的订单，需要近半年才能完成。 2019年
2020-11-17 17:20:142145 而由其所研发生产的EUV光刻机更是在高端市场之中处于一家独大的位置。台积电作为ASML的股东很轻松就能够获得ASML的EUV光刻机，所以这边导致台积电一直以来在技术上领先于三星。当然能够在5纳米等工艺方面保持领先的地位，也是因为这个原因。
2020-12-01 12:03:152690 方面，三星与台积电仍有二成产能的差距。 台媒指出，供应链透露，台积电目前已采购 35 台 EUV 设备，占
2020-12-02 11:16:571951 对于主攻代工芯片的台积电来说，拥有越多先进的光刻机，优势就越大，当然订单也就越多。
2020-12-02 12:02:321557 在四季度财报会议上，荷兰ASML（阿斯麦）表示，预计今年将出货交付40台EUV光刻机，比去年多9台。 CEO Peter Wennink估算今年EUV光刻机系统的销售收入在58亿欧元左右。四季度
2021-01-21 15:30:222470 在四季度财报会议上，荷兰ASML（阿斯麦）表示，预计今年将出货交付40台EUV光刻机，比去年多9台。
2021-01-21 15:16:431828 %，净利润为36亿欧元。 光刻机方面，2020年累计出货交付258台光刻机系统，其中EUV光刻机31台、ArFi光刻机68台，ArFdry光刻机22台，KrF光刻机103台，I-Line光刻机34台
2021-01-21 15:42:555867 %，净利润达到36亿欧元。全球光刻机主要玩家有ASML、尼康和佳能三家，他们占到了全球市场90%。 ASML由于技术领先，一家垄断了第五代光刻机EUV光刻机，这类光刻机用于制造7nm以下先进制程的芯片。 2020年ASML对外销售了31台EUV光刻机，带来了45亿欧元（折合352.52亿
2021-01-22 10:38:165473 
ASML公司前两天发布了财报，全年净销售额140亿欧元，EUV光刻机出货31台，带来了45亿欧元的营收，单价差不多11.4亿欧元了。 虽然业绩增长很亮眼，但是ASML也有隐忧，实际上EUV光刻机
2021-01-22 17:55:243344 大的需求令可以说是史上的天量，三星英特尔急了。 因为目前全球能够提供最先进极紫外光刻机的只有荷兰ASML一家，在刚刚过去的2020年当中，ASML面向全球客户一共才交付了31台极紫外光刻机，也就是说台积电如果一口气吞掉了18台的话，就占尽了全球
2021-01-27 09:56:083435 中银证券最新报告中的数据显示，2020年全球光刻机销量达到413台，同比增长15%，其中荷兰ASML公司占比62%，出货量达到258台，销售额占比达到91%。
2021-02-18 17:16:438361 根据芯思想研究院（ChipInsights）的数据表明，2020年全球集成电路、面板、LED用光刻机出货约58台，较2019年增加3台。其中集成电路制造用光刻机出货约410台；面板、LED用光刻机出货约170台。
2021-02-24 16:56:1211613 放眼全球光刻机制造领域，荷兰ASML是当之无愧的第一巨头。ASML一台EUV光刻机卖价十多亿，可即便如此台积电和三星依旧会抢着购买。
2021-03-02 15:09:085305 中芯国际的芯片工艺目前已发展至14nm，若想将芯片工艺进一步提升至7nm乃至3nm等先进制程，EUV光刻机设备就必不可少。那么，中芯国际此次12亿美元的采购协议都有哪些类型的光刻机，包含EUV光刻机吗？
2021-03-10 14:36:5510655 5nm光刻技术与ASML光刻机有何区别？ EUV光刻机产能如何？ 大飞_6g（听友） 请问谢博士，EUV光刻机的产能是怎样的？比如用最先进的光刻机，满负荷生产手机芯片麒麟990，每天能产多少片？中芯国际有多少台投入生产的光刻机？是1台、5台还是10台呢？谢谢 谢志
2021-03-14 09:46:3024901 、用途 光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的
2021-03-27 10:00:371907 
用途 光刻机是芯片制造的核心设备之一,按照用途可以分为好几种:有用于生产芯片的光刻机;有用于封装的光刻机
2021-03-30 18:17:272666 
光刻机，是现代光学工业之花，是半导体行业中的核心技术。 ? ? ? ?可能有很多人都无法切身理解光刻机的重要地位，光刻机，是制造芯片的机器，要是没有了光刻机，我们就没有办法造出芯片，自然也就
2021-07-07 14:31:18129215 10月1日，国庆当天，“光刻机10亿一台仍供不应求”相关话题登上微博热搜。
2021-10-09 09:54:212101 电子发烧友网报道（文/周凯扬）作为近乎垄断的光刻机巨头，ASML的EUV光刻机已经在全球顶尖的晶圆厂中获得了使用。无论是英特尔、台积电还是三星，EUV光刻机的购置已经是生产支出中很大的一笔，也成了
2021-12-07 14:01:1011681 光刻机作为芯片产业制造中不可缺少的设备，也是工时和成本占比最高的设备，更是全球顶尖技术和人类智慧的结晶。那么目前有哪些国家可以制造出光刻机呢？
2022-01-03 17:30:0090461 光刻机作为芯片的核心制造设备，也是当前最复杂的精密仪器之一。其实光刻机不仅可以用于芯片生产，还可以用于封装和用于LED制造领域。
2022-01-03 16:43:0017799 一台高端的光刻机由上万个零部件构成，光刻机的主要核心部件主要分为两个部分：分别是对准系统和紫外光源。
2022-01-03 17:09:0019353 刻蚀机不能代替光刻机。光刻机的精度和难度的要求都比刻蚀机高出很多，在需要光刻机加工的时候刻蚀机有些不能办到，并且刻蚀机的精度十分笼统，而光刻机对精度的要求十分细致，所以刻蚀机不能代替光刻机。
2022-02-05 15:47:0043756 光刻胶是光刻机研发的重要材料，换句话说光刻机就是利用特殊光线将集成电路映射到硅片的表面，如果想要硅片的表面不留下痕迹，就需要网硅片上涂一层光刻胶。
2022-02-05 16:11:0014914 光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前有用于生产的光刻机，有用于LED制造领域的光刻机，还有用于封装的光刻机。光刻机是采用类似照片冲印的技术，然后把掩膜版上的精细图形通过光线的曝光印制到硅片上。
2022-02-05 16:03:0089580 光刻机是制作芯片的关键设备，利用光刻机发出的紫外光源通过具有图形的光罩对涂有光刻胶的硅片曝光，使光刻胶性质变化、达到图形刻印在硅片上形成电子线路图。我国目前还是采用什深紫外光的193nm制程工艺，如上海微电子装备公司（CMEE）制程90nm工艺的光刻机，那么90nm光刻机能生产什么芯片呢？
2022-06-30 09:46:2132843 众所周知，光刻机一直处于垄断地位，在光刻机领域，最有名的就是ASML公司了。
2022-07-04 11:21:15293681 中国芯的进步那是有目共睹，我国在光刻机，特别是在EUV光刻机方面，更是不断寻求填补空白的途径。
2022-07-05 10:38:3518170 三星电子和ASML就引进今年生产的EUV光刻机和明年推出高数值孔径极紫外光High-NA EUV光刻机达成采购协议。
2022-07-05 15:26:156447 光刻机是芯片制造的核心设备之一。目前世界上最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机。
2022-07-06 11:03:078089 EUV光刻机是在2018年开始出现，并在2019年开始大量交付，而台积电也是在2019年推出了7nm EUV工艺。
2022-07-07 09:48:445123 大家都知道，芯片制造的核心设备之一就是光刻机了。现在，全球最先进的光刻机是荷兰ASML的EUV光刻机，那么euv光刻机目前几纳米呢？ 到现在，世界上最先进的光刻机能够实现5nm的加工。也就是荷兰
2022-07-10 11:17:4250745 是哪个国家的呢？ euv光刻机许多国家都有，理论上来说，芯片强国的光刻机也应该很强，但是最强的光刻机制造强国，不是美国、韩国等芯片强国，而是荷兰。 EUV光刻机有光源系统、光学镜头、双工作台系统三大核心技术。 目前，在全世
2022-07-10 11:42:278017 光刻机是大规模集成电路生产的核心设备，它能够制造和维护需要高水平的光学和电子产业基础，全球只有少数制造商掌握了这一基础。 光刻机的作用是对芯片晶圆进行扫描曝光，对集成电路进行蚀刻。精度更高的光刻机
2022-07-10 14:35:067353 光刻机和euv光刻机区别是是什么呢？ duv光刻机和euv光刻机区别 1.基本上duv只能做到25nm，而euv能够做到10nm以下晶圆的生产。 2. duv主要使用的是光的折射原理，而euv使用的光的反射原理，内部必须是真空操作。 以上就是duv光刻机和euv光刻机区别了，现在基本都是euv光刻机
2022-07-10 14:53:1085232 光刻机的原理是接近或接触光刻，通过无限接近，将图案复制到掩模上。直写光刻是将光束聚焦到一个点上，通过移动工作台或透镜扫描实现任意图形处理。投影光刻是集成电路的主流光刻技术，具有效率高、无损伤等优点。 EUV光刻机有光源系统、光学镜头、双工
2022-07-10 15:28:1017532 光刻机是当前半导体芯片产业的核心设备，其技术含量和价值含量都很高。那么euv光刻机用途是什么呢？下面我们就一起来看看吧。 光刻设备涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密材料传输、高精度微环境控制等
2022-07-10 16:34:404406 荷兰ASML公司昨天一家总部设在荷兰埃因霍温（Eindhoven）的全球最大的半导体设备制造商之一，向全球复杂集成电路生产企业提供领先的综合性关键设备光刻机。ASML的产品一直代表光刻机的最前
2022-11-12 17:58:122355 是的！光刻机本身的原理，其实和相机非常相似，同学们可以把光刻机就想成是一台巨大的单反相。机。相机的原理，是被摄物体被光线照射所反射的光线，透过相机的镜头，将影像投射并聚焦在相机的底片（感光元件）上， 如此便可把被摄物体的影像复制到底片上。
2022-11-21 10:03:068416 厂商尼康和佳能为例，他们就仍在坚持开发并扩展自己的光刻机业务。 尼康 尼康的光刻机产品阵容比较全面，包括ArF浸没式扫描光刻机、ArF步进扫描光刻机、KrF扫描光刻机、i线步进式光刻机和FPD面板光刻机，基本涵盖了除EUV以外的主流光刻机
2022-11-24 07:10:034471 光刻机是集成电路生产的关键设备之一，在整个生产过程中占据重要的地位。高精度的工作台作为光刻机核心部件之一，其运动性能和定位精度决定了光刻工艺所能实现的线宽和产率。光刻机的工作台是一个六自由度的运动台
2022-03-08 09:07:461556 
据2022年2月7日消息，上海微电子装备（集团）股份有限公司（SMEE）举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，向客户正式交付先进封装光刻机。需要指出的是，上海微电子此次交付的是用于IC后道
2022-02-11 09:37:0413719 
光刻机经历了5代产品发展，每次改进和创新都显著提升了光刻机所能实现的最小工艺节点。按照使用光源依次从g-line、i-line发展到KrF、ArF和EUV；按照工作原理依次从接触接近式光刻机发展到浸没步进式投影光刻机和极紫外式光刻机。
2024-03-21 11:31:418709 
disable）台积电相应机器，而且还可以包括最先进的极紫外光刻机（EUV）。 这就意味着阿斯麦（ASML）留了后门，随时有能力去远程瘫痪制造芯片的光刻机。 要知道我国大陆市场已经连续三个季度成为阿斯麦（ASML）最大市场，而且最先进的芯片约有90%产自中国台
2024-05-22 11:29:316170 据外媒报道，目前，俄罗斯首台光刻机已经制造完成并正在进行测试。 俄罗斯联邦工业和贸易部副部长瓦西里-什帕克（Vasily Shpak）表示，已组装并制造了第一台国产光刻机，作为泽廖诺格勒技术生产线
2024-05-28 15:47:541142 ，是半导体产业皇冠上的明珠。芯片的加工过程对精度要求极高，光刻机通过一系列复杂的技术手段，将光束透射过画着线路图的掩模，经物镜补偿各种光学误差，将线路图成比例缩小后映射到硅片上，然后使用化学方法显影，得到刻在硅片上的电路图
2024-11-24 09:16:386087 ? 本文介绍了用来提高光刻机分辨率的浸润式光刻技术。 芯片制造：光刻技术的演进 过去半个多世纪，摩尔定律一直推动着半导体技术的发展，但当光刻机的光源波长卡在193nm，芯片制程缩小至65nm
2024-11-24 11:04:142768 
本文主要介绍光刻机的分类与原理。 ? 光刻机分类 光刻机的分类方式很多。按半导体制造工序分类，光刻设备有前道和后道之分。前道光刻机包括芯片光刻机和面板光刻机。面板光刻机的工作原理和芯片光刻机相似
2025-01-16 09:29:453054 
本文介绍了如何提高光刻机的NA值。 为什么光刻机希望有更好的NA值？怎样提高？ ? 什么是NA值？ ? 如上图是某型号的光刻机配置，每代光刻机的NA值会比上一代更大一些。NA，又名
2025-01-20 09:44:181567 
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