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微机电系统（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。

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mems技术

优化导航系统中的MEMS IMU数据一致性和时序

PNT专家Dana Goward在近期的一篇社论中指出，如今社会极度依赖GPS提供的位置导航授时服务(PNT)。现有GPS/GNSS PNT服务面临着一...

2025-07-11 标签：mems 导航系统 IMU 882 0

干法刻蚀的评价参数详解

在MEMS制造工艺中，干法刻蚀是通过等离子体、离子束等气态物质对薄膜材料或衬底进行刻蚀的工艺，其评价参数直接影响器件的结构精度和性能。那么干法刻蚀有哪些...

2025-07-07 标签：mems 制造工艺刻蚀 547 0

Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3轴MEMS加速度计数据手册

Analog Devices Inc. ADXL373微功耗3轴MEMS加速度计是一款超低功耗、±400g微机电系统(MEMS)加速度计，以2560Hz...

2025-06-26 标签：mems 加速度计 Analog 262 0

为什么为氢电解槽选择MEMS传感器而不是旧技术？

氢电解槽处于清洁能源革命的前沿，能够通过水电解生产氢气。随着对绿色氢气需求的增长，效率、安全和精度比以往任何时候都更加重要。为氢电解槽选择正确的传感器技...

2025-06-24 标签：传感器 mems 电解槽 222 0

Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度计数据手册

Analog Devices Inc. ADXL367 MEMS加速度计是一款超低功耗、3轴微机电系统 (MEMS) 加速度计，在100Hz输出数据速率...

2025-06-20 标签：mems 低功耗加速度计 312 0

MEMS倾角计应该怎么选择？

倾角计是现代工业和科技中不可或缺的传感元件。从高精尖的航空航天到日常使用的手机，从保障安全的工程机械到预警地质灾害的系统，都能看到它的身影。MEMS倾角...

2025-06-20 标签：mems 工业自动化倾角计 158 0

Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3轴MEMS加速度计数据手册

Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3轴MEMS加速度计是一款低噪声密度、低0g失调漂移微机电系统(MEMS)加速度计，具有可选...

2025-06-20 标签：mems 低功耗加速度计 381 0

MEMS制造领域中光刻Overlay的概念

在 MEMS（微机电系统）制造领域，光刻工艺是决定版图中的图案能否精确 “印刷” 到硅片上的核心环节。光刻 Overlay（套刻精度），则是衡量光刻机将...

2025-06-18 标签：芯片 mems 光刻工艺 465 0

Analog Devices Inc. ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS开关IC数据手册

Analog Devices ADGM1121 0Hz/直流至18GHz DPDT MEMS开关IC是宽带、双刀双掷 (DPDT) 开关，采用An...

2025-06-14 标签：mems Analog DPDT 346 0

陀螺仪在钻井或测井中有何用途？

钻井与测井作业对定向和井眼轨迹控制要求较高，传统光纤陀螺仪和磁性测斜仪体积大、抗干扰能力弱、成本高。MEMS陀螺仪凭借其微型化、高可靠性和环境适应性，成...

2025-06-10 标签：mems 陀螺仪光纤陀螺仪 395 0

瑞之辰锐评MEMS传感器在打气泵上的应用与原理

应用场景MEMS传感器在打气泵中的应用主要集中在压力监测和流量控制方面。通过集成MEMS压力传感器和流量传感器，打气泵可以实现更精准的气压控制和流量调节...

2025-06-10 标签：传感器 mems 压力传感器 506 0

MEMS陀螺仪的寻北原理是什么？精度如何？

MEMS陀螺仪的寻北技术核心原理基于地球自转特性，通过测量角速度分量解算出地理北向。随着MEMS技术的不断进步，MEMS陀螺仪性能也在不断提升，已经具备...

2025-06-04 标签：mems 陀螺仪陀螺寻北仪 387 0

Analog Devices Inc. ADXL382 3轴MEMS加速度计数据手册

Analog Devices ADXL382 3轴MEMS加速度计支持±15g、±30g和±60g的可选测量范围。这款3轴加速度计具备低噪声密度和低功耗...

2025-06-03 标签：mems 加速度计 Analog 389 0

陶瓷基板在MEMS传感器封装中的优势

当今的科学技术如翩翩起舞的蝴蝶，追求着微型化、集成化及智能化的新境界。随着微机电系统（Micro-Electro-MechanicalSystem，ME...

2025-05-19 标签：传感器 mems 封装 259 0

ADGM1304具有集成驱动器的0 Hz/直流至14GHz单刀四掷MEMS交换芯片技术手册

ADGM1304 是一款宽带单刀四掷 (SP4T) 开关，使用 ADI 公司的微机电系统 (MEMS) 开关技术制造。该技术可实现小尺寸、宽 RF 带宽...

2025-05-15 标签：开关 mems SP4T 283 0

ADGM1004带集成驱动器的0 Hz至13 GHz、2.5kV HBM ESD SP4T MEMS开关技术手册

ADGM1004是一款宽带、单刀四掷(SP4T)开关，采用ADI公司的微型机电系统(MEMS)开关技术制造而成。利用该技术可实现小型、宽RF带宽、高线性...

2025-05-15 标签：开关 mems SP4T 329 0

ADGM1001/ADGM1002/ADGM1003 0 Hz/DC至34 GHz SPDT MEMS开关技术手册

ADGM1001/[ADGM1002]/[ADGM1003]是一款宽带、单刀双掷(SP2T)开关，采用ADI公司的微型机电系统(MEMS)开关技术制造而...

2025-05-15 标签：开关 mems 298 0

ADGM1144 0 Hz/DC至18 GHz、SP4T、MEMS开关技术手册

ADGM1144 是一款宽带单刀四掷 (SP4T) 开关，使用 ADI 公司的微机电系统 (MEMS) 开关技术制造。该技术可实现小尺寸、宽射频带宽、高...

2025-05-15 标签：开关 mems SP4T 456 0

ADGM1121 0 Hz/DC 至 18 GHz，DPDT MEMS开关技术手册

ADGM1121 是一款宽带双刀双掷 (DPDT) 开关，使用 ADI 公司的微机电系统 (MEMS) 开关技术制造。该技术可实现小尺寸、宽射频带宽、高...

2025-05-15 标签：开关 mems DPDT 247 0

通过LPCVD制备氮化硅低应力膜

本文介绍了通过LPCVD制备氮化硅低应力膜氮化硅膜在MEMS中应用十分广泛，可作为支撑层、绝缘层、钝化层和硬掩膜使用。SiN极耐化学腐蚀，疏水...

2025-05-09 标签：mems 工艺制造氮化硅 408 0

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IoT是Internet of Things的缩写，字面翻译是“物体组成的因特网”，准确的翻译应该为“物联网”。物联网（Internet of Things）又称传感网，简要讲就是互联网从人向物的延伸。
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