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微机电系统

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微机电系统（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，指尺寸在几毫米乃至更小的高科技装置。微机电系统其内部结构一般在微米甚至纳米量级，是一个独立的智能系统。

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凯米斯科技发明专利家族再添一员

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聚焦MEMS！这个重点实验室揭牌

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