11家半导体设备企业H1：刻蚀设备狂卖50亿，最高净利润暴涨73%

电子发烧友网报道（文/莫婷婷）近期，多家上市半导体设备公司均已公布上半年的财报数据。电子发烧友网统计了北方华创、中微公司、盛美上海、屹唐股份、华海清科、拓荆科技、京仪装备、中科飞测、芯源微、先锋精科、耐科装备等11家的财报数据，从业绩中看各家企业的发展情况。



头部企业营收破百亿，但“增收不增利”成行业阵痛

从营收来看，上述11家合计营收为336.93亿元。营收最高的是北方华创，营收达到161.42亿元，是唯一一家营收破百万的企业。营收增长最为明显的是拓荆科技。

北方华创业绩的增长主要来自订单与销售规模扩大。市场需求旺盛，尤其是客户对高端设备的需求推动各核心产品线放量。刻蚀设备、立式炉以及物理气相沉积（PVD）设备三大产品线累计出货量突破1000台的历史性里程碑。

北方华创通过持续拓展市场，订单量显著增加，带动营业收入同比大幅增长29.51%，其中电子工艺装备业务收入占比94.53%（152.58亿元），成为增长主力。

拓荆科技实现收入高速增长，上半年营业收入达195.41亿元，同比增加54.25%，主要得益于：先进制程验证机台（如PECVD Stack、ACHM等）通过客户认证并规模化量产；新产品（如PF-300T Plus、Supra-D等）出货量激增，累计出货超3000个反应腔，进入超过 70 条生产线。

从净利润来看，中科飞测是净利润增长最为快速的企业。尽管该公司还处于亏损状态，今年上半年的亏损了0.18亿元，但净利润快速增长，达到73.01%，作为对比，2024年上半年的净利润亏损了0.68亿元。净利润同比下降的原因主要系公司营收规模的持续稳定增长，以及研发投入占营业收入的比例同比有所下降等因素影响。其中，公司的研发费用同比增长83.19%。

此外，统计的11家企业有三家出现净利润下滑，包括拓荆科技、芯源微、先锋精科。

增收不增利这一矛盾现象背后，折射出半导体设备赛道“高投入、长周期”的产业特性。在研发方面，拓荆科技报告期内的研发投入金额达到3.49亿元，同比增长11.09%，研发投入占营业收入比例为17.87%。

此外，拓荆科技财报指出，验证成本拖累短期利润：第一季度新设备验证阶段毛利率较低（约15%-20%），而第二季度随着量产突破回升至30%以上。

芯源微在报告中指出净利润下滑的原因：一是随着公司规模的扩大， 管理费用、销售费用等有所增加；二是汇率变动造成汇兑损失增加；三是公司持续加大研发投 入力度，研发投入增加。

芯源微研发费用同比增加12.87%至13.21亿元，摊薄短期利润；同时毛利率受部分新产品量产初期成本较高影响，整体承压。

先锋精科净利润为1.06亿元，下滑了5.39%。主要是因为公司在业务扩张期，因新增产能利用率不足、人力成本上升以及内部效率有待优化等多重因素叠加，导致了成本上升、毛利率下滑，最终造成了“增收不增利”的局面。

从上述企业的业绩情况看到，还处于行业技术攻坚期的半导体设备企业，会出现“增收不增利”的情况，短期需承受研发、扩产的沉没成本，长期则需通过技术壁垒构建实现盈利跃迁。而头部半导体设备企业，随着原有产品线订单量增长，新品带来第二增长曲线，将依托规模效应与技术迭代双重驱动，带动盈利能力。


刻蚀霸主狂揽50亿销量，高端工艺设备需求激增
此次统计的11家半导体设备企业涉及刻蚀、薄膜沉积、封装、清洗设备等细分领域。

在薄膜沉积设备领域，北方华创和拓荆科技是两大重要玩家。

具体来看，北方华创的主力设备销量攀升，刻蚀设备收入超50亿元、薄膜沉积设备收入超65亿元。在热处理设备领域，已形成了立式炉和快速热处理设备（RTP）的全系列布局，热处理设备收入超10亿元。今年3月，北方华创还宣布进军离子注入设备市场，并发布多款12英寸离子注入设备。

拓荆科技在薄膜沉积设备领域加速新品布局，实现从跟随到引领的技术跨越。PECVD设备是公司核心产品，也是芯片制造薄膜沉积工艺中运用最广泛的设备种类。公司基于PF-300T Plus/Supra-D平台的ONO叠层、ACHM等先进工艺设备已通过客户端验证，累计出货超340个反应腔；ALD设备中，PE-ALD SiO?、SiCO等介质薄膜材料实现全面覆盖，Thermal-ALD TiN出货量持续攀升。

在产能布局方面，NF-300H（18片处理能力）和NF-300M Supra-H（24片处理能力）等高产能机型推动规模化生产。

据了解，拓荆科技的薄膜沉积设备在客户端产线生产运行稳定性表现优异，平均机台稳定运行时 间（Uptime）超过90%，达到国际同类设备水平。薄膜沉积设备在客户端产线生产产品的累计流片量已突破3.43亿片。

在封装设备方面，芯源微的先进封装产品线布局较为全面， 有涂胶机、显影机、湿法刻蚀、湿法去胶、湿法清洗等。今年上半年，战略新产品前道化学清洗机，签单同比增幅较大；公司还在研发新一代前道涂胶显影机，预计在今年发送到客户端开展验证，未来客户端验证完成后有望进一 步提升公司国内市占率。

芯源微表示未来，公司将继续围绕高端封装，尤其是HBM、CoWoS等高端工艺的需求开展 研发，不断为客户提供更高性价比产品。

在清洗设备方面，盛美上海上半年营收同比劲增35.83%；净利润同比大增56.99%。清洗设备依旧是盛美上海的增长主动力，2025 年 3 月，公司自主研发的单晶圆高温SPM设备已成功通过关键客户验证。同时电镀设备的销量相较去年同期也有了显著，公司ECP设备第1500电镀腔完成交付。此外，在需求端，二季度逻辑芯片和存储芯片两大领域的客户需求均较为旺盛。

在产能方面，盛美上海临港厂区共有两个生产工厂，其中厂A已经投产，在满产状态下，可达到人民币100亿元的产能。目前临港厂区的工 厂产能可以支持公司完成今年的65亿元至71亿元的业绩指引目标 。预计明年临港厂区的厂B将开始装修，计划 于明年下半年完成装修后开始投产，正式投产后可以实现人民币 200亿元的年产值。


进入并购整合期，技术覆盖持续拓宽

除了内生增长，外延式扩张也为公司发展注入了强劲动力。例如在湿法设备领域，北方华创通过资本收购芯源微拓展版图，丰富了公司在前道物理清洗和前道化学清洗领域的布局。

今年上半年，公司湿法设备收入超5亿 元。自6月30日起将芯源微纳入合并财务报表范围，因此以上收入不含芯源微湿法设备收入，预计在今年下半年，芯源微带来的业绩增长将逐渐凸显。

此外，苏大维格宣布拟以5.1亿元收购光掩模缺陷检测设备企业常州维普不超过51%股权、中微公司收购新加坡光刻辅助设备商 Vistec 部分资产、又如芯碁微装向港交所提交上市申请。

不管是北方华创、苏大维格的“买买买”，还是芯碁微装的“走出去”，这都是中国半导体设备行业从“单点突破”迈向“体系化竞争”的标志性事件。

工信部出台的《半导体设备产业高质量发展行动计划》提出，2025 年底前培育 3-5 家营收超百亿的设备集团。在利好政策的带动下，半导体设备企业通过并购不仅能丰富企业的产品线，也能显著增强了企业的核心竞争力和市场整体竞争力。