九家半导体设备企业Q1：最高营收破82亿，研发暗战升级

电子发烧友网报道（文/莫婷婷）当前，国内半导体设备行业处于快速发展阶段，但国内设备厂商的国产份额依旧较低，国产替代空间较大，各家半导体设备企业的产品以差异化竞争为主。随着2025年第一季度的结束，多家国内领先的半导体设备企业陆续发布了最新财报，从财报中可以看到，多数企业在研发投入、产品布局和客户拓展方面均呈现出积极的增长趋势。

电子发烧友网统计了北方华创、中微公司、盛美上海、华海清科、拓荆科技、京仪装备、中科飞测、芯源微、耐科装备等九家半导体设备企业的2025年Q1财报看到，除了拓荆科技、中科飞测、芯源微，大部分企业都能实现营收、净利润的增长，其中盛美上海、华峰测控的净利润分别增长了207.21%、164.23%，是增长最为明显的两家企业。

图：2025年Q1半导体设备公司业绩

前三大企业多款新产品关键技术突破、工艺覆盖存储与逻辑芯片

从营收来看，北方华创、中微公司、盛美上海是此次统计的企业中营收排名前三的半导体设备企业。

北方华创单季度营收达到82.06亿元，同比增长37.9%。增长的主要原因是电容耦合等离子体刻蚀设备（CCP）、原子层沉积设备（ALD）、高端单片清洗机等多款新产品实现关键技术突破，工艺覆盖度显著增长，同时多款成熟产品市场占有率稳步提升。

随着营收规模和订单的持续扩大，规模效应逐渐显现，其净利润也实现同比增长38.8%，达到15.81亿元。北方华创预计公司净利润率有一定的上行空间。

北方华创的集成电路设备包括刻蚀、薄膜沉积、炉管、清洗等多种工艺设备，可以满足逻辑、存储等不同领域客户多种技术的需求。在投资者关系活动中，北方华创董事会秘书、副总裁王晓宁表示，国内存储产线扩产会带动公司订单较快增长。公司新建的半导体装备台马基地已建成投入使用，可以匹配产能增长的需求。

中微公司第一季度营业收入继续保持高速增长，同比增长35.40%，达到21.73 亿元。中微公司针对先进逻辑和存储器件制造中关键刻蚀工艺的高端产品新增付运量显著提升，先进逻辑器件中段关键刻蚀工艺和先进存储器件超高深宽比刻蚀工艺实现量产。公司为先进存储器件和逻辑器件开发的六种薄膜设备已经顺利进入市场。

盛美上海在第一季度实现营业收入13.06亿元，同比增长41.73%，净利润2.46亿，同比增长207.21%。盛美上海表示这主要是因为公司凭借技术差异化优势，成功把握市场机遇，积累了充足订单储备；本期公司销售交货及调试验收工作高效推进。同时产品系列日趋完善，满足了客户的多样化需求。

盛美上海主要提供半导体清洗设备、半导体电镀设备、立式炉管系列设备、等离子体增强化学气相沉积PECVD 设备、后道先进封装设备以及硅材料衬底制造工艺设备等。其中，公司的炉管设备产品正逐步进入更多内存和逻辑芯片客户的生产线中。

2024年8月，盛美上海推出新型面板级电镀设备Ultra ECP ap-p，采用盛美上海自主研发的水平式电镀，确保面板具有良好的均匀性和精度。盛美上海是首个将水平式电镀应用到面板的厂商之一，凭借上述技术，公司能够在面板中实现亚微米级先进封装。当前已多家主要半导体领先企业选择面板作为其AI芯片封装的解决方案，盛美上海的新型面板级电镀设备Ultra ECP ap-p将在市场中迎来机会。


国产设备商技术突围背后的代价：投入占比集体飙升

从净利润来看，在此次统计的企业中，中科飞测、芯源微、拓荆科技出现净利润下滑。相较中科飞测和芯源微的净利润下降幅度，拓荆科技在第一季度的净利润出现1503.33%的同比下滑，亏损1.47亿，出现“爆雷”，毛利率下降至19.89%。

拓荆科技在第一季度业绩财报中没有过多的解释，只提到该季度新产品、新工艺的设备销售收入占比近70%，其在客户验证过程成本较高，毛利率同比下降。此外，净利润的下滑与其高研发投入也有关系，该季度公司研发投入1.59亿元，占营业收入的比例为22.38%。

但拓荆科技的营收达到7.09亿元，同比增长达到50.22%，是除了京仪装备，营收增长最为明显的企业，营收增长可观。若是接下来能够实现回正，净利润也将随之迈向新台阶。

中科飞测该季度的营业收入为2.94亿元，同比增长24.89%，净利润同比下滑了143.69%，系研发费用大幅提升，研发投入1.2亿元， 同比增长64%，研发投入占营业收入的比例为40.91%，较上年同期增加9.75个百分点。

芯源微是国内涂胶显影设备、单片式湿法设备龙头，该季度实现归母利润466万，同比下降70%； 公司表示，“但总体来看，公司每年一季度营收端都是淡季，对全年的指标性意义不是很强。公司一季度新签订单情况良好。”该季度芯源微的研发投入增加4.58个 百分点。

半导体设备行业是典型的技术密集型和资本密集型高研发投入行业，使得企业在持续进行技术创新和产品升级的过程中，面临着巨大的资金压力。例如除了上述三家公司，中微公司在该季度的研发投入也随着市场需求的增加显著提升，研发投入约6.87亿元，较上年同期增加3.26亿元，同比增长约90.53%。耐科装备的研发投入同比增加了57.16%。华海清科也正投入大量资金用于新产品研发以及产能扩张，以进一步提升公司的经营规模和产品竞争力，华海清科布局的离子注入项目也在陆续推广。

但在另一方面，这些研发投入都为中科飞测、芯源微、拓荆科技等企业带来了市场竞争优势。

在应用领域中，中科飞测前道制程尤其是先进制程产品占比相对较高，推动了一季度的毛利率上升。同时，新增订单方面，在HBM等新兴的先进封装领域获得了积极的市场反馈。从产品结构来看，暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备成为新增订单占比最大的设备系列之一，预计未来将成为重要的增长点。从制程工艺来看，先进制程的收入和订单占比快速提升，已超过50%，成为公司增长的主要来源。

今年4月，中科飞测宣布公司的先进制程明场纳米图形晶圆缺陷检测设备REDWOOD-900再次出货头部客户。产品采用高数值孔径物镜（NA≥0.95）和高速图像采集系统，检测精度达 10nm 级，可适配 FinFET、GAA 等先进晶体管结构及 3D NAND 堆叠层检测，在国内先进制程高端检测设备领域实现了从0到1的突破，填补了国内市场的空白。

第三代半导体已成为全球科技竞争的战略高地，其关键设备包括MOCVD、高温退火炉等，当前国内半导体设备厂商同样在加大研发投入布局该领域。

北方华创在SiC领域主要提供的产品包括SiC长晶炉、外延生长设备、刻蚀设备、薄膜沉积设备、高温激活/氧化/合金、清洗设备等，长期以来国内市占率一直保持领先地位。其中，SiC长晶炉国产化率小于20%，北方华创市占率约为15%。此外，北方华创还在8英寸SiC衬底上实现了无缺陷的超结器件高纵深比沟槽刻蚀（>5:1），以及沟槽栅SiC MOSFET器件的圆角沟槽刻蚀。