全国十大MEMS超声波传感器技术企业

在智能传感技术飞速发展的今天，微型化、低功耗、高精度的MEMS超声波传感器正成为自动驾驶、机器人、智能家居等领域的核心组件，中国市场竞争格局悄然生变。

MEMS（微机电系统）超声波传感器结合了微电子与微机械技术，能够将外界物理信号转化为可处理的电信号。基于MEMS的微型“硅芯片声呐”装置提供了毫米级精度的距离传感功能，并具有业内最低的功耗。

随着物联网、人工智能和智能驾驶技术的快速发展，中国MEMS超声波传感器市场正迎来爆发式增长。国内企业通过持续的技术创新和市场拓展，正在改变过去由国际巨头主导的市场格局。

行业现状与市场格局

中国MEMS传感器行业虽起步较晚，但发展迅速，已形成完整的产业链布局。虽然目前还没有专门针对超声波传感器的独立排名，但多家十强企业已布局超声波传感技术。其中奥迪威作为专注于超声波技术的企业表现尤为突出，其超声波传感器出货数量全球排名第三或第四，稳居国内第一。

市场竞争格局显示出明显的技术壁垒特征，头部企业通过持续的技术创新和专利布局构建护城河。然而，随着中国厂商在技术研发上的不断突破，这一格局正在发生变化。

十大MEMS超声波传感器技术企业

根据技术实力、市场表现和产品创新能力，以下是全国十大MEMS超声波传感器技术企业：

1. 广东奥迪威传感科技股份有限公司

奥迪威成立于1999年，是国家专精特新“小巨人”企业，专业从事智能传感器、执行器及相应模组的研究、设计、生产和销售。公司生产面积达8万平方米，年产能超过1.7亿件，拥有有效专利超过300项，其中发明专利60多项。

奥迪威开发的MEMS超声波传感器采用PMUT（压电微机械超声波传感器）技术，将压电薄膜作为功能薄膜与硅基MEMS相集成2。这种技术路线选择了高性能压电功能薄膜与硅基MEMS异质集成的新路径，实现了单个芯片兼具超声波发射与接收功能。

其AW101型号封装尺寸仅为4.2*4.5*2mm，几乎只有传统传感器体积的十分之一，探测视场可达120度。公司每年将营收的8%至9%投入到研发创新，远超行业平均水平。

2. 歌尔微电子股份有限公司

歌尔微电子是我国MEMS传感器龙头企业，常年位居“中国MEMS十强”企业名单榜首。据知名半导体市场咨询机构Yole Development的《MEMS产业现状报告》显示，从2019年开始，歌尔微连续跻身全球10大MEMS厂商之列。

歌尔微电子在MEMS声学传感器（麦克风）领域于2020年超过楼氏电子成为行业第一，市场占有率居世界同行业之首。截至2024年9月30日，歌尔股份有限公司及其子公司在智能传感器领域共持有1800项专利，其中包括704项发明专利。

3. 瑞声声学科技（深圳）有限公司

瑞声科技成立于1993年，为智能设备提供领先的微型专有技术解决方案，在声学、光学、触觉反馈、精密制造、微机电、无线射频和天线领域拥有材料研发、仿真、算法、设计、自动化以及工艺开发等尖端技术。

瑞声科技是中国电声元器件代表性企业，全球著名的电声元器件制造商之一，2005年在香港上市。在微型声学、触觉、MEMS麦克风领域，瑞声科技分别被工信部认定为我国制造业单项冠军示范企业。

4. 矽睿科技股份有限公司

矽睿科技成立于2012年，专注于高质量传感器产品的设计、制造、以及增值应用与服务，致力于成为以应用为导向的多传感器平台。矽睿科技拥有完全自主知识产权，产品包括多款MEMS传感器、磁性传感器芯片、及汽车与物联网智能模组和系统。

矽睿科技多年进入“中国MEMS10强”企业名单，是我国磁传感器、惯性传感器主要厂商之一。矽睿科技于2023年1月公开IPO上市辅导备案情况，拟在中国A股上市。

5. 士兰微电子股份有限公司

杭州士兰微1997年成立，是国内规模最大的集成电路芯片设计与制造一体（IDM）的企业之一。自2010年开始，士兰微电子投入大量资金，通过对加速度传感器、地磁传感器、压力传感器等一系列传感器产品的开发，在6吋、8吋芯片生产线上实现了批量制造能力。

目前士兰微MEMS传感器产品系列丰富，包括：MEMS加速度计、三轴AMR磁传感器、六轴惯性传感器、高性能MEMS麦克风、数字三合一传感器、心率传感器、高性能气压压力传感器等。

6. 敏芯微电子技术股份有限公司

敏芯股份成立于2007年，是一家专业从事微电子机械系统传感器研发设计的高新技术企业，主导推动了中国MEMS产业链构建，被赞誉为产业拓荒者。2020年8月登陆上海证券交易所科创板，为中国MEMS芯片第一股。

敏芯股份的三大产品线分别为MEMS麦克风、MEMS压力传感器和MEMS惯性传感器35。敏芯股份是中国MEMS声学传感器芯片出货量第一的企业，在全球排第三，也是唯一进入全球前5的中国企业。

7. 纳芯微电子股份有限公司

纳芯微电子成立于2013年，是高性能高可靠性模拟芯片的研发设计企业，专注于围绕各个应用场景进行产品开发。公司由传感器信号调理ASIC芯片出发，向前后端拓展了集成式传感器芯片、隔离与接口芯片、驱动与采样芯片，形成了信号感知、系统互联与功率驱动的产品布局。

纳芯微电子是一家非常年轻但成长快速的国产传感器芯片企业，2022年4月纳芯微成功在上交所科创板上市，创下中国传感器&半导体产业史上最贵IPO首发价的股票记录。

8. 华润微集成电路有限公司

华润微电子是2002年华润集团收购华晶集团改组而成，是领先的半导体和智能传感器供应商，总部位于无锡。公司拥有3条6英寸线，其中MEMS产线是国内规模最大的与CMOS生产线兼容的MEMS传感器量产生产线，具有国内领先水平的MEMS表面和体硅加工技术。

华润微电子8吋MEMS的3000片/月产能扩充已经完成，并投入使用35。光电及MEMS麦克风工艺平台从6英寸升级到8英寸，实现批量生产，产品性能及良率水平优秀。

9. 美新半导体有限公司

美新半导体（MEMSIC）成立于1999年，是目前总部位于中国天津，曾于2007年在美国纳斯达克上市，被誉为全球MEMS第一股。美新半导体是全球领先的惯性MEMS传感器及解决方案提供商，也是中国最大的MEMS惯性传感器企业。

2020年，美新获得mCube独家授权其所有惯性传感器芯片技术，全面布局电容式加速度计和陀螺仪领域，开发了基于标准CMOS流程的微机电系统和全球领先的制造工艺和测试技术。

10. 河北美泰电子科技有限公司

美泰科技是中国电子科技集团第十三研究所全资子公司，中国MEMS行业协会理事长单位，专门致力于MEMS（微电子机械系统）器件与系统的研发、生产和销售。连续多年荣获“中国半导体MEMS十强企业”，是国内最大的MEMS核心芯片、器件和系统产品供应商，中国MEMS技术领导者。

美泰科技拥有自己的MEMS传感器芯片产线，是一家IDM企业。2015年中电十三所的“6英寸SOI MEMS标准加工技术及在高性能MEMS器件中的应用”通过科技部组织的专家验收。

技术创新与发展趋势

MEMS超声波传感器技术正朝着多个方向快速发展：

智能化与AI融合：传感器正向AI集成方向发展，结合机器学习优化障碍物识别与距离测量精度。奥迪威等企业正在致力于研发创新，随着人工智能技术的融合，MEMS传感器将具备更强大的信号处理和识别能力。

小型化与低功耗设计：基于MEMS技术的微型传感器成为趋势，功耗降低50%以上，适用于可穿戴设备及物联网终端。奥迪威的AW101传感器就是这一趋势的代表作品，尺寸仅为传统传感器的十分之一。

多传感器融合：超声波传感器与LiDAR、视觉传感器融合，提升复杂环境下的检测可靠性。例如在自动驾驶系统中，通过卡尔曼滤波等算法对多源数据进行融合处理，可以显著提高障碍物检测的精度和鲁棒性。

无铅化环保趋势：欧盟RoHS对相关含铅产品的豁免期是2026年7月21日，届时传统产品的市场将让位于无铅压电新材料。奥迪威与兰州大学共同合作开发无铅压电新材料技术，已取得阶段性成果。

应用领域拓展

MEMS超声波传感器的应用领域正在不断扩展：

汽车电子与自动驾驶：随着自动驾驶等级的不断提升，智能汽车对各类型传感器的数量、性能及精度都有更高要求。奥迪威的车载超声波传感器2006年进入汽车制造厂商的前装供应链，实现了对博世、法雷奥、日本村田等国际厂商的进口替代。

智能家居与物联网：智能家居和物联网（IoT）是MEMS超声波TOF传感器最主要的需求来源。奥迪威的超声波材质识别技术基于超声波不受光线、颜色影响的特点，利用不同材质对声波的吸收能力不同而造成的回波差异，通过回波检测技术分辨出不同材质。

工业自动化：工业4.0和机器人应用对精确测距、定位和材料检测的需求激增4。MEMS TOF传感器广泛应用于机器人避障和生产线质量控制等场景4。奥迪威传感器采用特殊的封装设计和信号处理算法，能够在各种环境条件下稳定工作4。

人形机器人与智能制造：传感器为人形机器人提供了与外界交互的能力，是实现其智能化的关键。据相关资料显示，特斯拉Optimus机器人上各类传感器成本占比接近30%。

发展机遇与挑战

对中国MEMS超声波传感器企业来说，当前面临着多重发展机遇：

政策支持：中国政府高度重视传感器产业发展，相继出台了一系列政策支持新型高性能传感器技术研发。这为奥迪威等企业提供了良好的政策环境。

市场需求增长：随着新能源汽车、智能汽车产业的快速发展，对传感器的需求持续增长。中国作为全球最大的汽车市场，为本土传感器企业提供了广阔的市场空间。

产业链完善：中国在电子制造领域的产业链优势明显，从材料、制造到应用形成了完整体系，有利于传感器企业降低成本提高竞争力。

然而，挑战也不可忽视：国际巨头在技术积累和专利布局方面仍有较大优势；高端人才短缺问题突出；需要持续的高研发投入以保持技术竞争力。

随着智能汽车、人形机器人和物联网应用的普及，MEMS超声波传感器市场将持续扩大。

中国传感器企业如奥迪威正凭借无铅压电新材料、PMUT技术和小型化设计，逐步打破国际厂商垄断。

未来几年，本土企业有望在细分领域实现弯道超车，推动更多“中国智造”传感器产品走向世界舞台，为全球智能化发展提供关键技术支撑。