NCF贴压膜工艺：先进封装的核心技术解析

NCF贴压膜工艺：先进封装的核心技术解析

NCF（Non-Conductive Film，非导电薄膜）贴压膜是先进封装中的关键工艺，主要用于芯片堆叠（如3D IC、HBM）、Chiplet互联和倒装芯片（Flip Chip）封装。其核心作用是在无导电胶的情况下实现芯片与基板或中介层的牢固粘接，同时提供绝缘保护和应力缓冲。

一、 NCF贴压膜的核心作用
- 绝缘保护：防止芯片互连（如铜凸点）短路
- 应力缓冲：吸收热膨胀系数（CTE）不匹配导致的机械应力
- 高密度互联：支持微凸点（≤10μm）的精准对位和填充
- 工艺简化：替代传统的底部填充（Underfill）工艺，提高生产效率

二、NCF贴压膜工艺流程
1、NCF薄膜制备
NCF通常由环氧树脂+无机填料组成，具有以下特性：
- 低温固化（130~180℃）
- 低热膨胀系数（CTE）（≤30ppm/℃）
- 高流动性（确保微凸点间隙填充）

2、贴膜工艺
（1）晶圆/芯片预贴NCF
- 采用真空贴膜机（如立芯创WVLA系列）将NCF精准贴合在晶圆或芯片表面
- 关键参数：温度（80~120℃）、压力（0.5~5kgf/cm?）、真空度（<1mbar） ?

（2）精准对位（Alignment）
- 光学对位系统（AOI）确保芯片与基板的微凸点（Cu Pillar/Solder Bump）精确对准

（3）热压键合（Thermo-Compression Bonding）
- 在真空环境下加热加压（150~200℃, 10~50MPa），使NCF流动并填充凸点间隙
- 固化后形成高强度粘接层

（4）后固化（Post-Cure）
- 进一步固化（150℃, 30~60min），确保NCF完全交联

三、NCF贴压膜 vs. 传统Underfill工艺

NCF贴压膜与传统Underfill

四、NCF贴压膜的关键挑战
1. 气泡控制
- 微气泡（>10μm）会导致界面分层，需采用真空热压工艺（如屹立芯创WVLA晶圆级真空贴压膜系统）

NCF贴压膜方案

2. 翘曲（Warpage）
- 多层堆叠时，NCF固化收缩可能导致晶圆变形（需优化CTE匹配）

3. 低温固化兼容性
- 部分先进封装（如HBM）要求固化温度≤150℃，需特殊NCF配方

4. 高精度对位
- 5μm以下凸点间距需要亚微米级对准精度

5. NCF贴压膜的未来趋势
- 更薄的NCF（≤5μm）用于2.5D/3D封装
- 光敏NCF（Photo-imageable NCF），支持光刻图形化
- AI工艺优化（屹立芯创WVLA晶圆级真空贴压膜系统，自动调节温度/压力曲线）

晶圆级真空贴压膜系统

总结
NCF贴压膜是先进封装的关键工艺，尤其适用于HBM、Chiplet、3D IC等高端应用。相比传统Underfill，它具备高精度、高效率、低缺陷率等优势，但也面临气泡控制、翘曲管理等挑战。未来，随着更薄NCF材料和智能化设备的发展，该技术将在半导体封装中扮演更重要的角色。

审核编辑 黄宇