CMS系列连接器在晶圆级电性参数测试设备中的应用

01应用场景

在集成电路的产品开发、工艺制造和产品验证过程中，对电性参数测试的需求日益提高。芯片设计类企业、代工制造类企业、垂和研发实验室，都需要完成多种测试任务,需要高效、精确地提取器件和工艺相关的电性参数，实现以数据驱动芯片产品的功耗-性能-面积-成本(PPAC) 优化、可靠性以及成品率提升。

常见的电性测试参数：

● 电流：测试精度0.1pA以下，最小分辨率0.1fA，最大范围1A

● 电压：测试精度0.1mV以下，最小分辨率0.1 ?V，最大范围200V

● 电容：测试精度0.01pF，最大范围100nF, 支持C-V扫描

为满足这些高精度的测试需求，客户采用PXIe的模块化仪器，配置了SMU,pulse Generator,Signal Analyzer,Switch Matrix,LCR表。如下图

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问题和难点

1，PXIe的高密度板卡如何连接，保证信号的测试精度

2，多台系统设备如何保证一致性，保证测试结果的准确性

3，测试如何需要保证一定的通用性，可以适配类似的被测物

03解决方案

1，采用腾方中科的CMS系列海量互连产品，确保产品形成通用平台，可更换适配器，完成多类测试;

2,跟PXI板卡的连接采用DAK直连盒的方式，保证信号的精度和一致性

3，因为电流是PA，电容是PF，非常微弱的信号，适配器也采用PCB的方式，缩短矩阵和SMU间的连线，最大化降低信号的衰减，同时PCB的一致性也能很好的保证系统间的测试结果一致。