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电子发烧友网>光电显示>今日看点丨全国首台国产商业电子束光刻机问世;智元机器人发布行业首个机器人世界模型开源平台

今日看点丨全国首台国产商业电子束光刻机问世;智元机器人发布行业首个机器人世界模型开源平台

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国内首个!北京人形机器人创新中心成立

据悉,北京人形机器人创新中心将面向未来打造世界首个通用人形机器人“硬件主控平台”、首个模型+开源控制系统“软件主控平台”。以产业的基本共性问题为中心,开展通用机器人主机原型、通用机器人模型、操作控制系统、工具链
2023-11-09 10:41:351926

德累斯顿工厂的电子束光刻系统

来源:半导体芯科技编译 投资半导体设备行业新的生产设备 Jenoptik公司计划投资数亿欧元,为目前在德累斯顿建设的高科技工厂建造最先进的系统。新型电子束光刻系统(E-Beam)将用于为半导体
2024-01-15 17:33:161155

基于SEM的电子束光刻技术开发及研究

电子束光刻(e-beam lithography,EBL)是无掩膜光刻的一种,它利用波长极短的聚焦电子直接作用于对电子敏感的光刻胶(抗蚀剂)表面绘制形成与设计图形相符的微纳结构。
2024-03-04 10:19:283236

电子束光刻的参数优化及常见问题介绍

本文从光刻图案设计、特征尺寸、电镜参数优化等方面介绍电子束光刻的参数优化,最后介绍了一些常见问题。
2024-03-17 14:33:522130

全国首个基于开源鸿蒙的机器人操作系统M-Robots OS正式发布,中国机器人产业进入“群体智能”新时代

2025年4月9日,深开鸿在广东省人工智能与机器人产业创新产品与服务新闻发布会上正式发布全国首个基于开源鸿蒙的分布式异构多协同机器人操作系统——M-RobotsOS(Multi-RobotsOS
2025-04-09 13:00:25833

泽攸科技 | 电子束光刻(EBL)技术介绍

电子束光刻(EBL)是一种无需掩模的直接写入式光刻技术,其工作原理是通过聚焦电子束电子敏感光刻胶表面进行纳米级图案直写。
2025-08-14 10:07:21123

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