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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等,是在微电子技术(半导体制造技术)基础上发展起来的,融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。
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微机电系统(MEMS, Micro-Electro-MechanicSystem)是一种先进的制造技术平台。它是以半导体制造技术为基础发展起来的。MEM...
如果说很多人把MCU或SoC主芯片比喻为现代电子系统的大脑,那么时钟组件当之无愧是其心脏。无论是电子工程师还是元器件采购者,在选择时钟组件时都会经过全面...
VTI公司使用基于SCA600C13H1G型MEMS加速度传感器,提出一种无创胎心检测方法,研制出一种简单易学、直观准确的介于胎心听诊器和多普勒胎儿监护...
mems(微机电系统)传感器;有三项MEMS技术产品:红外传感器、磁性传感器、测角传感器;在高档汽车中,大约采用25至40只MEMS传感器;
可变光衰减器(VOA)是光纤通信中一种重要的光无源器件,本内容详细介绍了MEMS VOA在光通信系统中的应用。
在我们的世界里,视觉和声音都是类比形式,但当我们利用电子讯号来获取、储存和传送这些类比现象时,采用数位技术却能带来许多重大优点;音讯处理就是个例子,当它...
本文分析了微/纳机电系统的发展特点,讨论了MEMS和NEMS发展中的几个问题和MEMS和NEMS的发展前景。
mems (微机电系统)传感器;有三项MEMS技术产品:红外传感器、磁性传感器、测角传感器;在高档汽车中,大约采用25至40只MEMS传感器;
本文论述如何在个人导航仪内利用MEMS压力传感器辅助GPS接收器测量海拔高度。本文第一部分概述大气压与海拔高度的关系。第二部门描述如何使用压力传感器计算...
陀螺仪能够测量沿一个轴或几个轴运动的角速度,而MEMS加速计则能测量线性加速度,因此这两者是一对理想的互补技术。事实上,如果组合使用加速计和陀螺仪这...
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