资料介绍
研究振动轮式微机械角速度传感器在4 Pa 到100 kPa 气压范围内的振动特性。被测传感器的直径为1. 3mm , 厚度约30 Lm。用电容检测技术测量其振动信号,以获得传感器幅频、相频特性。试验得到了传感器两个振动模态的品质因数与气压的关系曲线, 发现了传感器的非线性振动和模态耦合现象。弹簧的非线性弹性引起了非线性振动, 振动方向不正交及电信号耦合导致了振动耦合现象。试验结果表明驱动梁为曲梁的传感器与直梁传感器相比, 驱动轴非线性振动特性大大降低。
微机械角速度传感器是一种以微机械加工工艺制造的惯性传感器, 用于测量运动物体相对于惯性空间的角速度。为了提高灵敏度, 这种传感器在一定的真空度下工作。
文[ 1, 2 ]介绍了2 种不同的微角速度传感器在102~ 105 Pa 范围内振动品质因数与气压的关系曲线; 文[ 3 ]介绍了用激光干涉原理测量一种微角速度传感器振动特性的方法, 测出了在不同气压下的振动品质因数, 并发现了“软弹簧”振动现象。本文介绍对一种振动轮式传感器在4~ 105 Pa 范围内振动特性的测试方法和结果。
微机械角速度传感器是一种以微机械加工工艺制造的惯性传感器, 用于测量运动物体相对于惯性空间的角速度。为了提高灵敏度, 这种传感器在一定的真空度下工作。
文[ 1, 2 ]介绍了2 种不同的微角速度传感器在102~ 105 Pa 范围内振动品质因数与气压的关系曲线; 文[ 3 ]介绍了用激光干涉原理测量一种微角速度传感器振动特性的方法, 测出了在不同气压下的振动品质因数, 并发现了“软弹簧”振动现象。本文介绍对一种振动轮式传感器在4~ 105 Pa 范围内振动特性的测试方法和结果。
下载该资料的人也在下载
下载该资料的人还在阅读
更多 >
- 陀螺仪传感器-它们是如何工作的,未来会发生什么
- ADXRS810:高性能、SPI数字输出角速度传感器
- ADXRS646: 具有高稳定性、低噪声和振动抑制特性的航向角速度陀螺仪
- MPU6050三轴陀螺角速度传感器的计算角度程序免费下载 54次下载
- 运动传感器的详细介绍包括:加速度计PIR振动传感器等 47次下载
- 基于加速度传感器的拖拉机振动特性研究_袁加奇 1次下载
- 微型角速度传感器使用说明 7次下载
- ADXRS810高性能、SPI数字输出角速度传感器 73次下载
- 角速度传感器CJSYS-A01用户手册
- EWTS82-角速度传感器芯片
- 一种硅微振动角速度传感器
- 测量目标相对角速度的陀螺传感器
- 振动与冲击传感器特性规范
- 气压和流速对微热板气体传感器的影响
- 压电射流角速度传感器的软件补偿技术
- 振动传感器的工作原理、分类和特点 1.2w次阅读
- MEMS加速度传感器在电机健康状态监测上的应用 3908次阅读
- 振动传感器的类型有哪些 7129次阅读
- 工业振动加速度传感器的实际应用是什么 1488次阅读
- 振动传感器原理及应用 1.2w次阅读
- 振动传感器测量振动的方式 1712次阅读
- 如何安装振动速度传感器 1815次阅读
- 气压传感器的应用领域_气压传感器的作用 4356次阅读
- 气压传感器的工作原理_气压传感器应用 2.4w次阅读
- 振动加速度传感器原理图与应用 1.6w次阅读
- 角速度传感器详细讲解 1.8w次阅读
- 在智能手机上装上气压传感器有什么作用? 2.6w次阅读
- 6大常用传感器工作原理(角速度传感器、距离传感器、气压传感器等) 4.3w次阅读
- 速度传感器多少钱 6397次阅读
- 速度传感器种类及型号 2.4w次阅读
下载排行
本周
- 1DC电源插座图纸
- 0.67 MB | 2次下载 | 免费
- 2AN158 GD32VW553 Wi-Fi开发指南
- 1.51MB | 2次下载 | 免费
- 3AN148 GD32VW553射频硬件开发指南
- 2.07MB | 1次下载 | 免费
- 4AN111-LTC3219用户指南
- 84.32KB | 次下载 | 免费
- 5AN153-用于电源系统管理的Linduino
- 1.38MB | 次下载 | 免费
- 6AN-283: Σ-Δ型ADC和DAC[中文版]
- 677.86KB | 次下载 | 免费
- 7SM2018E 支持可控硅调光线性恒流控制芯片
- 402.24 KB | 次下载 | 免费
- 8AN-1308: 电流检测放大器共模阶跃响应
- 545.42KB | 次下载 | 免费
本月
- 1ADI高性能电源管理解决方案
- 2.43 MB | 450次下载 | 免费
- 2免费开源CC3D飞控资料(电路图&PCB源文件、BOM、
- 5.67 MB | 138次下载 | 1 积分
- 3基于STM32单片机智能手环心率计步器体温显示设计
- 0.10 MB | 130次下载 | 免费
- 4使用单片机实现七人表决器的程序和仿真资料免费下载
- 2.96 MB | 44次下载 | 免费
- 53314A函数发生器维修手册
- 16.30 MB | 31次下载 | 免费
- 6美的电磁炉维修手册大全
- 1.56 MB | 24次下载 | 5 积分
- 7如何正确测试电源的纹波
- 0.36 MB | 17次下载 | 免费
- 8感应笔电路图
- 0.06 MB | 10次下载 | 免费
总榜
- 1matlab软件下载入口
- 未知 | 935121次下载 | 10 积分
- 2开源硬件-PMP21529.1-4 开关降压/升压双向直流/直流转换器 PCB layout 设计
- 1.48MB | 420062次下载 | 10 积分
- 3Altium DXP2002下载入口
- 未知 | 233088次下载 | 10 积分
- 4电路仿真软件multisim 10.0免费下载
- 340992 | 191367次下载 | 10 积分
- 5十天学会AVR单片机与C语言视频教程 下载
- 158M | 183335次下载 | 10 积分
- 6labview8.5下载
- 未知 | 81581次下载 | 10 积分
- 7Keil工具MDK-Arm免费下载
- 0.02 MB | 73810次下载 | 10 积分
- 8LabVIEW 8.6下载
- 未知 | 65988次下载 | 10 积分
评论