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ADI高校讲座系列:MEMS(5)

EE techvideo ? 来源:EE techvideo ? 2019-08-21 06:07 ? 次阅读
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MEMS侧重于超精密机械加工,涉及微电子、材料、力学、化学、机械学诸多学科领域。它的学科面涵盖微尺度下的力、电、光、磁、声、表面等物理、化学、机械学的各分支。

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