- 环境振动干扰测量稳定性:产线高频振动易致测量数据漂移,重复性差,难以保证覆膜厚度测量的一致性。
- 膜厚差异与结构复杂性:水冷板存在多种厚度规格,且表面常有坡度、凹槽等复杂形貌,对传感器测量范围与入射角度提出更高要求。
- 反射光强过高与信号干扰:高反射区的强反射光不仅可能超出传感器的动态范围,还可能产生强烈的背景光,干扰覆膜厚度测量并导致信号失真。
检测需求
测量项目
水冷板表面覆膜厚度
工件尺寸
约1000x60x5mm
精度要求
≤3μm
速度要求
≤4.5s/件
深视智能点光谱应用优势
针对上述痛点与需求,深视智能一体式光谱共焦位移传感器通过 “高速采样+高精度+抗干扰算法”三大优势,全面提升水冷板表面覆膜厚度测量的可靠性、速度与适应性。
01
高速采集,契合产线节奏
深视智能光谱共焦位移传感器(型号:SCI04025)支持0.5-33kHz高频采样,兼容240mm/s的产线扫描速度;结合编码器触发模式,可实现0.01mm点间隔的精密测量,有效保障在高速运动条件下测量点位的完整性与数据可靠性。
图 | 水冷板测量点位图
02
高精度与重复性,保障测量可靠
基于光谱共焦原理,深视智能光谱共焦位移传感器可生成12μm光斑,搭配16mm工作距离与4mm测量范围,覆盖不同规格水冷板覆膜厚度变化区间,甚至可检测130μm透明膜层厚度变化,准确捕捉波谷位置(膜厚关键管控区域)的细微数据。
图 | 左:水冷板波谷测量点位 右:水冷板膜厚度测量数据
在240mm/s模拟产线速度下,深视智能光谱共焦位移传感器对同一水冷板进行10次静态测量,覆膜厚度重复性最大偏差仅为0.6μm,远优于3μm的精度要求。
图 | 水冷板覆膜厚度测量数据表
*注:上述数据基于实验室标准测试环境所得,实际应用中可根据产线条件微调,确保偏差仍控制在需求范围内。
03
抗干扰算法应对复杂场景
针对水冷板表面高透明漆层、高反光基材、低反射率坡度区等复杂场景,深视智能光谱共焦位移传感器通过以下技术提升信噪比与数据有效性:
自研感光算法:精准过滤环境光与震动干扰,针对高反射区的强反射光,有效抑制背景光干扰,增强弱反射区域的信号识别能力,确保测量信号的纯净度和准确性
光源光学设计:通过调整光源的强度和波长,传感器能够有效避免因反射光过强导致的信号饱和问题,确保测量信号的稳定性和可靠性,避免漏检和误检。
深视智能传感器推荐
深视智能光谱共焦位移传感器以微米级精度保障覆膜厚度均匀性,有效提升水冷板散热可靠性及产品良率,同时具备高速采样、强抗干扰能力和产线适配性,减少改造与维护成本。
如果您的产线面临水冷板、散热片等精密覆膜厚度测量难题,欢迎联系我们的技术团队,获取定制方案并申请免费样机测试,实地验证测量效果。
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深视智能SCI系列光谱共焦位移传感器以亚微米精度测量晶圆平整度

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