硅清洗液不能涂的部位有哪些

在硅片清洗过程中，某些部位需避免接触清洗液，以防止腐蚀、污染或功能失效。以下是需要特别注意的部位及原因：

一、禁止接触清洗液的部位

1. 金属互连线与焊垫（Metal Interconnects & Pads）

• 风险：
  • 强酸/碱清洗液（如DHF、BOE）会腐蚀铝（Al）、铜（Cu）等金属层；
  • 焊垫氧化或污染可能导致后续焊接失效。
• 保护措施：
  • 使用光刻胶或硬质掩膜（如SiO?）覆盖金属区域；
  • 选择中性清洗液（如去离子水+IPA）或局部清洗工艺。

2. 高钾玻璃或低熔点材料（如焊料）

• 风险：
  • 碱性溶液（如NH?OH）会与玻璃中的Na?、K?反应，导致表面粗糙或腐蚀；
  • 高温清洗可能熔化低熔点材料（如Indium焊料）。
• 保护措施：
  • 采用缓冲HF（BHF）替代强碱清洗；
  • 控制清洗温度（<60℃）。

3. 介电层边缘（如SiO?/SiN?侧壁）

• 风险：
  • 各向同性腐蚀液（如BOE）会横向侵蚀介电层，导致尺寸偏差；
  • 超声清洗可能引起边缘碎裂。
• 保护措施：
  • 使用各向异性腐蚀液（如KOH蚀硅停止层）；
  • 降低超声功率或采用喷淋替代浸泡。

4. 背面研磨区（Backside Grinding Area）

• 风险：
  • 粗糙背面易吸附颗粒或残留清洗液，污染正面电路；
  • 强酸清洗可能导致背面金属污染（如来自载具的Fe、Ni）。
• 保护措施：
  • 背面贴覆保护胶带（如PVA薄膜）；
  • 单独清洗背面或使用低浓度溶液。

5. 键合界面（如Cu-Cu thermocompression bonding区域）

• 风险：
  • 清洗液渗入键合间隙，导致氧化或腐蚀；
  • 残留溶剂破坏表面能，降低键合强度。
• 保护措施：
  • 使用惰性气体吹扫代替液体清洗；
  • 采用等离子体清洗局部处理。

6. 钝化层开口（Passivation Opening）

• 风险：
  • 清洗液通过开口腐蚀下方器件（如晶体管栅极）；
  • 颗粒堵塞开口导致漏电。
• 保护措施：
  • 控制清洗时间（如<5分钟）；
  • 使用离心力辅助去除开口污染物。

二、需谨慎处理的区域

1. 浅沟槽隔离（STI）区域

• 风险：各向同性腐蚀液可能扩大沟槽宽度，影响器件隔离性能。
• 对策：采用各向异性腐蚀液（如TMAH）或缩短清洗时间。

2. TSV（Through-Silicon Via）孔隙

• 风险：深孔内清洗液残留难以完全去除，导致腐蚀或颗粒吸附。
• 对策：
  • 超声+离心甩干组合工艺；
  • 使用低表面张力溶剂（如氟化液）辅助干燥。

3. 欧姆接触区（如NiPtSi）

• 风险：强氧化性溶液（如SC-1）可能氧化接触金属，增加电阻。
• 对策：局部遮挡或采用无氧清洗（如氮气环境）。

三、通用保护原则

掩膜策略：

• 光刻胶、硬质掩膜（如SiO?）或临时覆盖层（如石蜡）可屏蔽敏感区域。
• 例：RCA清洗前用光刻胶保护金属焊垫。

分步清洗：

• 先去除主体污染物（如超声+溶剂），再处理顽固区域（如局部等离子体）。
• 避免长时间浸泡导致全局腐蚀。

清洗后处理：

• 立即用去离子水冲洗，防止清洗液残留；
• 烘干前用氮气吹扫表面，减少水痕和颗粒吸附。