金升阳开关电源在半导体制造设备中的应用

半导体行业制造设备应用指标关键词：SEMI F47认证、高精度电压控制、低纹波噪声、快速动态响应、高可靠性和长寿命、国产化品牌。

在全球科技竞争加剧的背景下，美国对国内半导体行业制裁加速，涉及超过100家实体企业，覆盖了版套题产业链多个制造环节，半导体产业链国产化迫在眉睫。

从光刻机到刻蚀机，从清洗设备到检测设备，半导体制造设备的每一个核心部件都需要逐步实现国产替代，而开关电源作为设备中不可或缺的电力供应单元，自然也成为了国产化的重要组成部分。

作为半导体设备的"心脏"，开关电源的国产化替代需求日益凸显。越来越多的设备厂商开始转向高性能、高可靠性的国产电源方案，这不仅是应对供应链风险的必要举措，更是提升产业自主性的关键一步。

一、半导体行业制造设备中的应用特点

01SEMI F47认证：保障半导体设备稳定运行

SEMI F47是半导体设备的重要测试认证，如PSL电压瞬降和暂升测试等，主要就是考验其设备电源的稳定性，符合F47认证有利于提高设备的可靠性和稳定性;

02高精度电压控制、低纹波噪声

半导体制造设备内部控制板等负载，需开关电源提供极其精确的电压控制，同时低纹波噪声的控制，可保证负载不受干扰而影响精度;

03快速动态响应、瞬态过功率能力

设备负载变化频繁且迅速，快速响应能有效防止电压波动，电机等负载也需要高瞬态过功率能力;

04高可靠性、长寿命

设备工业级别，且不间断工作，故对内部的电源需具备高可靠性和长寿命，如MTBF(平均无故障时间)超过10万小时、工业级别工作温度、优良的EMC性能、宽输入的电压范围等，甚至部分应用需要电源符合防爆认证的设计。

二、半导体制造设备解决方案典型案例

等离子刻蚀机

等离子刻蚀机是半导体制造中的关键设备，可用于制造微处理器、光纤通信器件等高精度芯片和电路。主要由真空室、等离子源、刻蚀腔等组成，以下是等离子刻蚀机的电源解决方案。

此设备对电源的要求：

1、国产化品牌、快速交付能力强; 2、高性价比、高可靠性，高电压精度、低纹波噪声; 3、符合 ATEX、IECEx 增安型防爆; 4、具备一定的防腐性能;

针对该设备的应用需求，金升阳提供相应的电源解决方案，此方案采用了金升阳供电一级侧电源为导轨电源LIMF240-23B24、LIMF480-23B24，同时采用了2个作为冗余设计，满足设备高可靠需求,板卡侧电源则采用DCDC模块电源VRB和URB系列，做进一步隔离和转换电压的作用。

三、结论

半导体制造设备的国产化浪潮为开关电源行业带来了巨大的机遇与挑战。作为半导体设备中的关键部件，开关电源的性能直接影响到设备的稳定性和可靠性。

选择一款高性能、高可靠性的国产开关电源，不仅是应对供应链风险的必要举措，更是提升设备竞争力的关键所在。

金升阳作为一站式电源解决方案商，致力于为半导体领域用户提供更多无忧的国产电源。