铸光为尺—PLR3000系列光纤激光干涉尺新品发布

激光干涉测量技术具有灵敏度高、量程大及可适应恶劣环境等优点，光波可以直接对米进行定义且容易溯源。

中图仪器自研的PLR3000系列光纤激光干涉尺基于激光干涉测量原理，是一种高精密度、高灵敏度、高效快速的先进位置检测设备，在非接触高精度测量领域具有其它测量方法无可比拟的优势，相比传统钢带尺或玻璃光栅，具有更加精确的栅距和更高的分辨率，同时其热源隔离设计，保证了更高的稳定性，同时具有安装快捷，易于准直等特点，在微电子、微机械、微光学等现代超精密加工制造、光刻技术以及航空航天等高科技领域广泛应用。

光纤激光干涉尺由激光发射装置、干涉测量探头、反射镜等部分组成。

1.激光发射装置

激光发射装置内置高稳定度氦氖激光光源，稳频精度0.05ppm（可选0.02ppm）。通过铠装光纤将激光传导至干涉测量探头，实现热源与测量探头隔离。激光发射装置内置高精度信号处理系统，可直接输出用户可配置分辨率的实时RS422数字正交信号和正交模拟信号，还可通过USB-SDK进行二次开发。

2.干涉测量探头

2.1差分干涉（DI）探头

差分干涉探头输出两束激光（参考光和测量光），分别经过固定平面反射镜和移动平面反射镜反射，实现光学四倍频，具有更高的系统分辨率和更小的非线性误差。尤其适用于测量Z轴立柱与运动平台之间的相对运动，消除因内壁热漂移和立柱振动/移动而产生的误差，是纳米级精度方案首选。

2.2平面镜干涉（PI）探头

平面镜干涉探头采用双光程干涉系统，配合平面反射镜，实现光学四倍频，具有更高的系统分辨率，使用双轴系统，搭配长条平面反射镜，特别适合XY平台运动控制及测量应用。提供0°、90°两种出光配置。

2.3角锥棱镜干涉（RI）探头

角锥棱镜干涉探头，安装方便，精度高，适用于单轴线性测量或位置反馈，测量距离达10米，可定制40米，在运动定位和设备校准上应用广泛。提供0°、90°两种出光配置。

光纤激光干涉尺技术特色

光纤激光干涉尺应用验证

PLR3000系列光纤激光干涉尺已在多个客户端进行精度验证：用差分干涉（DI）探头对高精度纳米位移台进行闭环控制，在10mm行程内任意位置实现纳米级位置控制精度。