综合外电报道,当地时间14日晚9时30分许,光刻胶供应商陶氏化学(Dows Chemical)美国路易斯安那州的普普拉克明工厂发生爆炸。
就此次事件,陶氏化学发表声明称,该工厂于7月14日发生火灾,就此次事件,正在与当地及州机构密切合作。所有人员都被判定为安全,空气检查中没有检测出空气中的有害物质。事故原因还在调查中。
陶氏化学作为半导体核心化学材料的世界主要供应商,不仅拥有高纯度化学产品系列,还提供一系列的光控材料,包括光控粘合剂、光控溶剂、光控辅助剂等。陶氏化学也是cmp (化学机械抛光技术)的主要供应商,其中包括聚合物垫、聚合物溶液等。
去年4月,普拉克明-路易斯安那州的陶氏化学工厂发生火灾,导致氯气泄漏。据悉,发生事故的公司是Olin,是陶氏化学的普拉克明地区第3方租赁企业。
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