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MEMS技术最早由Richard Pfeynman(1965年获得诺贝尔物理奖)，在1959年提出设想。1962年硅微型压力传感器问世。
1979年Roylance和Angell开始压阻式微加速计的研制。1991年Cole开始电容式微加速度计的研制。
惯性传感器包括加速度计(或加速度传感计)和角速度传感器(陀螺)以及它们的单、双、三轴组合IMU(惯性测量单元)，AHRS(包括磁传感器的姿态参考系统)。
MEMS加速度计是利用传感质量的惯性力测量的传感器，一般由标准质量块(传感元件)和检测电路组成。根据传感原理不同，主要有压阻式、电容式、压电式、隧道电流式、谐振式、热电耦合式和电磁式等。
1998年，美国CSDL设计研制了最早的MEMS陀螺。同年，Drapor实验室研制了另一种形式的MEMS陀螺。
MEMS陀螺是利用震动质量块被基座(壳体)带动旋转时的哥氏效应来传感角速度的原理制成。
主要形式有框架驱动式(内、外框架两种)梳状驱动式、电磁驱动式等。
IMU由于是MEMS技术组合的微型惯性测量单元，所以很多地方称为MIMU。主要由三个MEMS加速度传感器及三个陀螺及解算电路组成。
AHRS则为包括三个磁传感器的IMU，并且依据四元素法进行了解算，直接可输出一个运动体的俯仰角、横滚角和航向角。
低精度MEMS惯性传感器作为消费电子类产品主要用在手机、游戏机、音乐播放器、无线鼠标、数码相机、PD、硬盘保护器、智能玩具、计步器、防盗系统、GPS导航等便携式。由于具有加速度测量、倾斜测量、振动测量甚至转动测量等基本测量功能，有待挖掘的消费电子应用会不断出现。
中级MEMS惯性传感器作为工业级及汽车级产品，则主要用于汽车电子稳定系统(ESP或ESC)GPS辅助导航系统，汽车安全气囊、车辆姿态测量、精密农业、工业自动化、大型医疗设备、机器人、仪器仪表、工程机械等。
高精度的MEMS惯性传感器作为军用级和宇航级产品，主要要求高精度、全温区、抗冲击等指数。主要用于通讯卫星无线、导弹导引头、光学瞄准系统等稳定性应用;飞机/导弹飞行控制、姿态控制、偏航阻尼等控制应用、以及中程导弹制导、惯性GPS导航等制导应用、远程飞行器船舶仪器、战场机器人等。
用作消费电子类的MEMS惯性传感器，主要要求是单价低、尺寸小、温度范围窄、因而精度要求低，甚至是功能性产品。加速度传感器重量轻、功耗小、一般测量范围1～10g～50g，分辨率2mg～10mg，陀螺一般量程在±300°/s，零偏在500°/h～1000°/h，因此有些公司的产品不给出零偏指标或给出0.1°/s～0.5°/s。
目前可以生产MEMS加速度传感器的公司比较多，大多数为半导体、如美国的ADI、Invensense、ST、Freescale、 Sensor Dynamics、MSI(ICSensor)、MEMSIC(生产地在中国无锡)欧洲的VTI、Infine，生产MEMS陀螺的公司美国的ADI、 Knoix、ST，欧洲的Infine、Methes，日本的Murata、National、冲电气、富士通。12月3日中国上海深迪半导体有限公司发布了消费类的MEMS陀螺，无锡一家公司也在研发中。
军工级或宇航级的MEMS惯性传感器精度要求高、工作温度范围宽(-45°～125°)，某些兵器产品要求抗冲击能力强(10000g～20000g)尺寸要比光纤和机械类产品要小。加速度传感器量程范围宽1g～5000g，分辨率要0.1～1mg，甚至更高。陀螺量程要求范围宽20°/s～1000° /s,频响高，50Hz～1000Hz，零偏稳定性为1 °/h～50°/h。目前制造商有美国BEI、Crossbow、Silicon design、Honeywell、Drapor,，欧洲公司有Xsens、Sorsonor、Colibry、BAE，日本有SSS公司，中国有西安中星测控、电子26所、航天704所。
最近六、七年以来，国内对MEMS惯性传感器的研发热度很高，尤其是2005年～2008年，而且大多集中在国内的顶尖研究机构。据初步了解，研发加速度传感器的机构有：哈尔滨工业大学、浙江大学、东南大学、西安交通大学、中北大学、哈尔滨电子49所、石家庄电子13所、航天704所、重庆电子26所、重庆电子24所、西安航空618所、西安航天771所、中科院上海微系统所、绵阳中国工物院。研发陀螺及组合的机构有清华大学、北京大学、西北工业大学、东南大学、南京理工大学、北京信息工程大学、长沙国防科技大学、上海交通大学、重庆电子26所、航天704所。
| ? | 加速度传感器 | 陀螺、IMU、AHRS、VG |
| ? ? 消费级 | ADI、Invensense、ST、Freescale、Sensor Dynamics、MSI(ICSensor)、MEMSIC、VTI、Infline。 | ADI、Knoix、ST、Infine、Methes、Murata、National上海深迪。 |
| 工业级 汽车级 | ADI、Silicon design、Honeywell、MSI、VTI、Colibry、北陆电气、中星测控。 | BEI、Microstrain、Crossbow、Sensonor、SSS、Bosch、Delphi、 Honeywell、ADI。 |
| 军工级 宇航级 | Honeywell、Silicon design、Drapor、Colibry、电子26所、航天704所、九院。 | BEI、Drapor、Honeywell、Xsens、Sorsonor、SSS、中星测控、电子26所、航天704所。 |
| 国内研发机构 | 哈尔滨工业大学、浙江大学、东南大学、西安交通大学、中北大学、哈尔滨电子49所、石家庄电子13所、航天704所、重庆电子26所、重庆电子24所、西安航空618所、西安航天771所、中科院上海微系统所、绵阳中国工物院。 | 清华大学、北京大学、西北工业大学、东南大学、南京理工大学、北京信息工程大学、长沙国防科技大学、上海交通大学、重庆电子26所、航天704所。 |
MEMS惯性传感器的发展现状是消费类产品向大规模生产发展、单价越来越低，量产后，仅售不足一美元，而军用与宇航级产品向高精度发展，一个单轴陀螺售价可在3～4千美元。而工业级、汽车级产品更追求高品质和高可靠性，同时兼顾售价。
展望未来，MEMS惯性传感器的发展趋势主要有以下几个方面：
技术方面：精度将不断提高，以陀螺为例，有替代低精度光纤陀螺的趋势。对消费类应用，更寻求进一步简化制造工艺，降低成本的趋势。同时，集成化也是未来发展的趋势，不仅模块制造商走软件、硬件集成的路子，越来越多的上游芯片厂家也走集成块的技术路线。因而不断有双轴、三轴加计、陀螺芯片问世。
竞争力方面：消费类将竞争最为惨烈，新厂家将不断涌进，比投资、比规模将是必然趋势。上下游相互倾轧、收购、重组将会上演。
合作方面：由于产品细分的缘故全球竞争与合作必然结果。上游厂家希望找到下游客户，下游希望寻找合适的供应商，因而产业联盟可能出现。
应用方面：无疑无论是消费类应用，工业级军工级应用，市场会急骤扩大，应用会越来越广泛。
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MEMS惯性传感器作为工业应用领用新兴的应用元件，不论在商业、工业还是军工应用上都有着广阔的应用。文中给出了几种MEMS的在不同领域内的应用范例，并解析了相应的原理，并从一款较常用的MEMS入手
2017-11-29 10:58:3720
20MEMS惯性传感器的背景及发展现状
MEMS （ Micro-Electro-Mechanical System ）是指集机械元素、微型传感器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。 MEMS 惯性传感器
2018-02-23 09:04:018367
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MEMS惯性传感器到云传感器融合系统的定位系统
高性价比、高性能MEMS惯性传感器现可为潜在的解决方案提供种子。本文提出一个完整的传感器到云传感器融合系统设想，包括高度复杂的算法。 下面表1描述了主要方法和实现技术。
2018-10-06 11:35:003648
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MEMS惯性传感器投资策略解析
中国半导体产业中存在着巨大发展空间的领域除了CPU、GPU、FLASH、DSP和FPGA之外，MEMS惯性传感器也是一个关键的领域，在半导体器件国产化日益高涨的今天，呼唤MEMS惯性传感器领域的“王者”。
2018-12-19 10:46:227994
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浅谈MEMS惯性传感器
麦姆斯咨询：高精度惯性传感器主要用于测量倾角、加速度和振动等。惯性传感器作为MEMS器件，以单晶硅传感器元件为基础，采用最新的微机械加工技术制备。
2019-01-29 16:35:2117347
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MEMS惯性传感器的分类及应用解析
MEMS惯性传感器包括MEMS陀螺仪及MEMS加速度计，其分类有多种方式，根据精度由低到高其可分为消费级（零偏》100°/h）和战术级（零偏0.1°/h ~ 10°/h）。
2019-10-10 15:05:117588
7588MEMS惯性传感器的背景及发展现状
MEMS（Micro-Electro-Mechanical System）是指集机械元素、微型传感器以及信号处理和控制电路、接口电路、通信和电源于一体的完整微型机电系统。MEMS惯性传感器可构成
2020-04-23 10:54:221820
1820MEMS惯性传感器的趋势分析
传感器的作用。 MEMS技术拥有非常广阔的市场前景，特别是进入物联网时代，由于应用场景种类繁多，再加上产品生产技术的多样化，为企业带来了巨大的发展机遇。从我国MEMS各产品市场占比来看，MEMS惯性传感器占有超过30%的份额。
2020-08-28 15:16:402891
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基于惯性及相关测量原理的MEMS惯性传感器
意法半导体于2022年推出智能传感器处理单元（Intelligent Sensor Processing Unit，ISPU），在MEMS惯性传感器内部进一步整合数字信号处理器（DSP）和人工智能算法，为系统级封装（SiP）器件注入本地决策，同时显著节省空间和功耗，并通过将数据保持在本地增强隐私安全性。
2022-10-26 11:13:181105
1105松下汽车类6轴单芯片MEMS惯性传感器
过去用于车载系统的惯性传感器，其角速度和加速度的感测元件是由多颗芯片构成的，因此面临因角速度和加速度的轴偏离而影响输出精度的问题。松下推出的新型高质量、高可靠的6轴MEMS惯性传感器系列，也称为“6合1传感器”
2023-01-03 14:54:13827
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高性能MEMS惯性传感器“隐形冠军” 芯动联科科创板上市
公开资料显示，芯动联科是一家集高性能MEMS惯性传感器研发、测试、销售为一体的高新技术企业。公司主要产品包括MEMS陀螺仪和MEMS加速器，其产品核心性能指标已达国内领先，国际先进水平。公司是国内少数可以稳定量产高性能惯性传感器的高科技半导体公司。
2023-07-03 16:06:57476
476高性能MEMS惯性传感器企业 芯动联科科创板上市
安徽芯动联科微系统股份有限公司(以下简称“芯动联科”，股票代码688582.SH)于6月30日登陆科创板。 芯动联科的主营业务是研发、测试和销售高性能硅基MEMS惯性传感器。目前，公司已经形成
2023-07-11 11:47:37329
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MEMS惯性传感器的研究背景与发展现状
MEMS(微机电系统)是指集机械元件、微传感器、信号处理与控制电路、接口电路、通信和电源为一体的完整的微机电系统。MEMS惯性传感器可以组成低成本的INS/GPS组合导航系统。它是一种非常适合构建小型捷联惯导系统的惯性传感器。MEMS惯性传感器的突出特性使其在许多民用和军事领域具有广阔的应用前景。
2023-07-19 09:21:571288
1288芯动联科：高性能MEMS惯性传感器龙头
芯动联科主要从事高性能本土化MEMS传感器的研发，主要产品为高性能MEMS惯性传感器，包括MEMS陀螺仪及MEMS加速度计，在无人系统、信息通讯、自动驾驶、石油勘探、高速铁路、测量测绘等场景应用广泛。
2023-08-01 09:27:16352
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工商网监
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